Mercury II™ 1900

Mercury
II
™
1900
次世代の高性能エンコーダ
The Next Generation of High Performance Encoders
High Performance Analog 1Vpp Output with Linear Tape or Glass Scales
リニアテープ、ガラススケールで実現する1Vpp高性能アナログ出力
Resolution
分解能
Determined by Customer Electronics
お客様のエレクトロニクスにより決定
リニア:5μm∼5nm*
Linear: 5μm to 5nm*
*5nmの分解能を得るにはX4000逓倍をお客様
*5nm resolution requires x4000
customer interpolation
にてご用意ください。
Accuracy
精度
Tape Scale: ± 5μm/m
テープスケール:±5μm/m
ガラススケール:
Glass Scales:
±1μm(オプション)
± 1μm available
±1.5μm∼±5μm(標準)
± 1.5μm to ± 5μm standard
Outputs
出力
Analog 1Vpp Sin/Cos and
アナログ1Vppサイン/コサイン信号、
原点パルス
Index Pulse
Scales
スケール
Same Sensor for Tape or Glass
同一センサーでテープ、ガラススケール
に対応
新型マーキュリーII
The new Mercury1900エンコーダは、高分解能・高精度が得られる高品質信号、小型センサーサイズ、他に類のない汎用性、堅牢
II 1900 encoder represents a breakthrough in performance, offering high signal quality for high
性、簡単な取り付けが実現され、そのパフォーマンスは飛躍的に進歩しています。お好みの長さにカットしたテープスケールまたは
resolution and accuracy, small sensor size, unmatched versatility, robustness, and easy installation. Use cut-to-length tape
ガラススケールを使用することで最高精度が得られます。コネクターは、15ピン標準D-subコネクターまたはマイクロコネクターか
scale or use glass scales for the highest accuracy. Connector options are 15 pin standard D-sub or micro-connector.
ら選択できます。
Mercury II: The Next Generation
マーキュリーII:次世代型
A Breakthrough in High Performance
高性能エンコーダ技術における飛躍的進歩
Encoder Technology
MicroE Systems revolutionized encoder technology with the original
マイクロEシステムズは、独自のマーキュリーエンコーダ製品群でエン
コーダ技術に革命をもたらしました。これまでのどの製品よりも小型
Mercury encoder family. Smaller, faster, and smarter than anything
で高速、高性能なこのエンコーダは、技術革新の基準を打ち立ててい
before, it set the standard for innovation. Now Mercury II, MicroE
ます。マイクロEシステムズの反射型インクリメンタルエンコーダの最
新製品群であるマーキュリーIIは現在、「クラス最高」性能、比類なき
System‘s newest family of reflective incremental encoders, takes
汎用性、優れた堅牢性、無類の使い易さを実現することによって、更
another giant step forward by giving you “best-in-class” performance,
なる大きな一歩を踏み出しています。お客様はこれらの全てを妥協す
unparalleled versatility, exceptional robustness, and unmatched ease
ることなくたった一つのシステムで手に入れることができます。
of use. You get all of this from a single encoder system.
MII1900が出力する高品質信号を、お客様にて逓倍していただきます。
高速・高分解能アプリケーションで優れたパフォーマンスを発揮しま
MII1900 offers high signal quality for customer interpolation, enabling
す。
excellent performance in high speed, high resolution applications.
システムの特長の概要
System Features at a Glance
・
•
・
•
・
•
・
・
アナログ1Vppサイン/コサイン出力、原点ウィンドウ
Analog
1Vpp sin/cos output and index window
bi-directional optical index
・• Stick-on,
貼り付け式の双方向光学原点
・• High
スケールの汚染に対する高い耐性
tolerance to scale contamination
・ 最も広いアライメント許容値、アライメントツールのLEDを使用した •簡単なセットアップ
Broadest alignment tolerances and easy setup using alignment
あ tool
LEDs
・
EMIが高い環境における信頼性を高める差動出力
・• Differential
オプションのソフトウェアを使用してエンコーダのセットアップ、
outputs for high reliability in high EMI environments
モニタリング、診断が可能
software can be used for encoder setup, monitoring
・• Available
CEおよびRoHS指令適合品
and diagnostics
• CE and RoHS compliant
オプションの特長
Optional Features
・• Tape
テープスケールの長さ−ディスペンサー1個に
scale length - up to 30m per dispenser
つき最長30m
•
Glass
scale lengths from 10mm
to 1m
・ ガラススケールの長さ:
ガラススケールの長さ:10mm∼1m
10mm∼1m
• Sensor cable length of 0.5m, 1m,
・ 5m,
センサーのケーブル長:
小型センサー−狭いスペースにも収まる高さ8.7mmのセンサー
or custom
Small
sensor - 8.7mm tall sensor fits tight spaces
0.5m、1m、5m、またはお客様指定
高速−7.2m/秒
•
Standard
15 pin D-sub
の長さ
Faster
- 7.2m/s
汎用的−同一センサーでリニアテープまたはガラススケールに対応
connector
or micro-connector
・
標準15ピンD-subコネクターまた
お好みの長さでカットできるディスペンサーに入った最長30mまで
• Versatile
- same sensor for linear tape or glass scales
はマイクロコネクター
のレーザーテープスケール
• Accessory Kits for scale
・ スケール取り付け用キット
• Cut-to-length laser tape scale comes in a dispenser in lengths
installations
・
SmartPrecision™IIソフトウェア
up to 30m
• SmartPrecision™ II Software
目次
Table of Contents
Overview
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .Pg. 1-2
概要…………………………………………………P1-2
特長…………………………………………………P3-4
Features
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .Pg. 3-4
仕様および出力……………………………………P5-6
Specifications
and Outputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .Pg. 5-6
SmartPrecisionIIソフトウェア.......
SmartPrecisionIIソフトウェア……………………P7
SmartPrecision II Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .Pg. 7
スケール
スケール……………………………………………P8-12
Scales . . . . . . .P8-12
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .Pg. 8-12
ご注文方法
ご注文方法…………………………………………P13-14
Ordering Information P13-14
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .Pg. 13-14
Page 1
製品構成
System
Configurations
Standard and Optional Equipment
標準およびオプション装置
マーキュリーII
1900H
Mercury II 1900H
エンコーダシステム
Encoder System
Standard Equipment
標準装置
マーキュリー™II
1900S
Mercury II™ 1900S
エンコーダシステム
Encoder System
Standard Equipment
標準装置
Optional Software
オプションのソフトウェア
Encoder Sensor
エンコーダセンサー
SmartPrecision II Software
SmartPrecisionIIソフトウェア
Optional software lets you view signal
オプションのソフトウェアにより、信号強度、リ
strength, Lissajous plots, position data
サージュプロット、ポジションデータ、診断を閲
and diagnostics.
覧することができます。
Controller
コントローラー
Interface Cable
インターフェースケーブル
MII
MII1900S
1900S
RS-422 compliant
RS-422準拠
15 pin standard
15ピン標準
D-sub connector
D-subコネクター
Installation Accessories
取り付け用付属品
MII
MII1900H
1900H
RS-422 compatible
RS-422準拠
5 x 2 header
5x2ヘッダー
Micro-connector
マイクロコネクター
原点
Stick-on Index Marker
貼り付け式原点マーカー
SmartPrecision
セットアップ用
Alignment Tool
SmartPrecision™
for Setup−−
アライメントツール
−ATMII1900
ATMII1900
™
Tape Scale Applicator Tool
テープスケールアプリケーターツール
Provides fast set up; the built高速セットアップ:LED表示
in LED indicators make
内蔵で、高速かつ簡単なアラ
alignment fast and easy,
イメントを実現。オシロスコ
eliminating the need for
ープは必要ありません。
an oscilloscope.
アライメントツールに付属の
RS232インターフェースアダ
The RS232 Interface Adapter
プターはエンコーダへの電源
provides power to the
供給、PC接続を行います。
encoder and connections to
a PC. This is included with
the Alignment Tool.
Page 2
Tape Scale Shears
テープスケールカッター
システムの特長の概要
System Features
at a Glance
マーキュリーII™
1900シリーズは、実績のあるマーキュリー™の技術基盤に基づいて開発されました。小型化、高性能化、高
The Mercury II™ 1900
is built on the field-proven Mercury™ technology platform. Known for being smaller, smarter and faster, Mercury II
速化されたマーキュリーIIは、初代マーキュリーシリーズをベースに誕生し、性能、汎用性、堅牢性、使い易さが改善されてい
builds on the original Mercury series and adds increased performance, versatility, robustness, and ease-of-use.
ます。
Mercury II 1900’s1900の特長:
features include:
マーキュリーII
・
Z高が極めて低いためコンパクトなモーションシステムに
• Small,
low-mass sensor with ultra low Z-height fits in compact
も収まる小型の低質量センサー
motion systems
• Convenient
tape scale applicator tool insures consistency and
・
便利なテープスケールのアプリケーターツールが一貫した
speeds
installation
迅速な取り付けを可能にします。
・ 優れた分解能および精度−最高分解能は5nm。長距離の最
• Superior
resolution and accuracy - resolution up to 5nm;
高精度は±1μm以下(リニアガラススケールの長さは最
long-range
accuracy up to ± 1μm (linear glass scales
長130mm)
up to 130mm long)
・ 高速動作−最高7.2m/秒
・ 全て差動デジタル出力であること、優れたEMI/RFI耐性
• Robustness features include all differential outputs and doubleを得らため二重シールドケーブルとなっていることなど
shielded
cabling for superior EMI/RFI immunity; scale
により優れた堅牢性を発揮。スケールの耐汚染性は、指
contamination
resistance insures encoder operation even with
紋、油、ほこり、その他の種類の汚染でもエンコーダの
fingerprints,
oil,
dust and other forms of contamination
動作を保証します。
• High-speed operation - 7.2m/s
・ 汎用性−同一センサーでレーザーテープまたはリニアガラ ・ オプションのソフトウェアによりセットアップ、モニタリ
• Optional software makes setup, motoring and diagnostics easy
ススケールに対応
ング、診断が簡単に行えます。
• Versatility - one sensor works with laser tape or linear
・ glass
広いセンサーアライメント許容値。アライメントツールの
scales
赤/黄/緑のセットアップLEDにより迅速なセンサーのア
ライメントが可能
• Broad sensor alignment tolerances and the Alignment Tool’s
red/yellow/green setup LEDs make sensor alignment fast
・• Adhesive-mount
粘着剤で取り付ける一本の連続し
laser tape scale
たレーザーテープスケールは、
supplied in continuous lengths for
お好みの長さでカットできるた
cut-to-length convenience and
め使いやすく、在庫も削減でき
inventory savings; mounts on
ます。金属、花崗岩、ガラス、
virtually any surface - metals,
合成物、セラミックなどほぼ全
granite, glass, composites,
ての面に取り付け可能です。
or ceramics
・The貼り付け式の光学原点はどの場所にも置くこと
•
stick-on optical index can be placed anywhere, is
ができ、簡単に貼り付けられ、調整の必要があ
easy
to apply, requires no adjustment, and works on
りません。レーザーテープおよびリニアガラス
both
laser tape and linear glass scales
スケールのどちらでも使用できます。
原点
Page 3
最小センサー、最小システム高、最小テープスケールシステム、より広いアライメ
Smallest Sensor, Lowest System Height, Smallest Tape
ント許容値他
Scale System, Broader Alignment Tolerances, and More
マーキュリーII™エンコーダで御社の装置の高性能化をより簡単に設計できる理由
Why Mercury II™ Encoders Make It Easier To Design High Performance Into Your Equipment
マーキュリーIIならシステムのサイズとコストの削減が可能
Mercury II Can Reduce System Size and Cost
Mercury II’s system height with tape scale is 34% shorter than competitive
テープスケールの場合のマーキュリーIIのシステムの高さは、一般エンコー
ダよりも34%抑えられています。これによって設計への組み込みが簡単に
encoders, making it easier to fit into your design. This reduction can also cut
なることはもちろん、小型化がより小型のモーターやステージの使用を可
motion system weight and cost by allowing the use of smaller motors and stages.
能にするため、モーションシステムの軽量化やコストの削減もできるよう
This significantly relaxes mechanical system tolerances, while reducing system
になります。さらにシステムのコストを削減しつつ、機械システムの許容
costs. Mercury II’s optical index marker is placed within the 6mm width of the
誤差を大幅に緩和。加えて、マーキュリーIIの光学原点マーカーは6mm幅の
テープスケール内に配置するため、外部の原点およびテープスケールのキ
tape scale, saving even more space by eliminating external index and tape
ャリアバルクが不要となり、更なる省スペース化を実現します。
scale carrier bulk.
最小テープスケールシステム
Smallest Tape Scale System
16mm
15.3mm
6.0mm
最小システム高
Lowest System Height
Mechanical Dimension Comparison*
機械寸法比較*
ブランドX
テープスケール付
Mercury II
Brand X
Mercury
II
マーキュリーII
10.0mm
ブランドX
Brand X
18.2mm
マーキュリーII™
with Tape Scale
システムの高さ
System height
センサーのZ高
Sensor Z height
スタンドオフ許容値
Standoff
tolerance
テープスケール幅**
Tape
scale width**
10.0mm
8.7mm
± 0.15mm
6.0mm
18.2mm
12mm
± 0.1mm
16.0mm
ブランドY
Brand Y
マーキュリーII
Mercury II vs.
vs.
最良競合品
Best Competitor
15.8mm
14.8mm
± 0.1mm
15.3mm
58%の優位性
58% better
38%の優位性
38% better
50%の優位性
50% better
155%の優位性
155%
better
*公開された仕様に基づく
*Based
on published specifications
**原点を含んだテープスケールシステムの幅
**Tape
scale system width including index
ブランドY
Brand Y
15.8mm
シータZのアライメント許容値
Theta Z Alignment Tolerance 面倒なエンコーダのアライメントに関する悩みを解消
Eliminate the Frustration of Touchy Encoder Alignment
Mercury II Solves this Problem for Good
マーキュリーIIならこの問題から永続的に解放されます
± 0.006°
Fussy alignment is no longer a concern. With Mercury’s patented PurePrecision™ optics,
マーキュリーに複雑なアライメントは不要です。マーキュリーの特許の
PurePrecision™光学、高度なSmartPrecisionII™エレクトロニクス、および
advanced SmartPrecision II™ electronics and LED alignment indicators, you can push the
LEDのアライメント表示により、アライメントはセンサーを基準面に押し当てネ
sensor against your reference surface, tighten the screws and you’re finished. Try that
ジを締めるだけで完了します。X社やY社の製品ではこうはいきません。
with Brand X or Y.
このような性能が得られるのは、アライメント許容値が特にシータZ軸において
This performance is possible thanks to relaxed alignment tolerances, particularly in the
大きいためです。マーキュリーIIのアライメント許容値は±2°で、一般のエンコ
ーダのなかで得に高性能なものと比較しても300%の優位性があります。これに
theta Z axis. Mercury II offers a ± 2° sweet spot – that’s a 300% improvement over the
よって御社の生産コストを大幅に引き下げます。
best competitive encoder. And that will result in dramatic savings in manufacturing costs.
これ以上アライメントが簡単で、扱いやすく御社の設計にすぐに統合できるエン
No other commercially available encoder is easier to align, easier to use, or easier to
コーダは他にないといえるでしょう。
integrate into your designs.
± 0.5°
± 2°
Alignment Tolerance Comparison*
アライメント許容値比較*
ブランドX
マーキュリーII***
Mercury II***
Brand X
シータZ
theta
Z
シータY
theta Y
シータX
theta X
± 2.0°
± 2.0°
± 1.0°
± 0.006°
未定義
unspecified
± 0.1°
*Based on published specifications
*公開された仕様に基づく。
***一定温度で測定軸のみ動かし、他の軸は仕様内で固定し測定。
ブランドY
Brand Y
± 0.5
± 1.0°
± 1.0°
マーキュリーII
Mercury II vs.
vs.
最良競合品
Best Competitor
マーキュリーの優位性は300%
Mercury is 300% better
マーキュリーの優位性は100%
Mercury is 100% better
***Measured at a constant temperature for one axis at a time with all other axes at their ideal positions.
Page 4
System Specifications
システム仕様
Sensor Size
センサーサイズ
System
システム
Scales:
スケール:
PurePrecision™ laser tape scale - available in continuous
・• Cut-to-length
お好みの長さにカットするPurePrecision™レーザーテープスケール
−最長で連続30m可能
lengths up to 30m
・ 高精度向けリニアガラススケール
• Linear glass scales for high accuracy
グレーティング周期
Grating
Period
20μm
Signal
Period
20μm
信号周期
System
Resolution
5μm - 5nm; determined by customer electronics
5μm∼5nm:お客様のエレクトロニクスにより決定
システム分解能
Linear
accuracy*
リニア精度*
レーザーテープスケール
ガラススケール
Laser Tape Scale
Glass Scales
Short-travel お客様のエレクトロニクスでゲインの不一致、オフセット、フ
Determined by correction of gain mismatch, offset and phase in
短距離精度
ェーズを修正して決定
Accuracy
the customer electronics
Long-travel お客様のコントローラーにて
± 5μm/m after twoHigh accuracy grade:
長距離精度
高精度:130mmまでのスケール
=±1μm以下
Accuracy 2ヶ所でのリニアライゼーシ
point linearization
≤ ±1μm for scales
ョン後±5μm/m
in the customer’s
up to 130mm
130mm∼1mまでのスケール=±
2μm以下
controller
≤ ±2μm for scales
from 130mm to 1m
標準精度:130mmまでのスケー
ル=±1.5μm以下
Standard accuracy grade:
130mm∼1mまでのスケール=±
5μm以下
≤ ±1.5μm for scales
幅:
W:
L:
長さ:
高さ:
H:
13.49mm
32.00mm
8.66mm
0.531"
1.260"
0.341"
動作環境および電気的仕様
Operating and Electrical Specifications
Power Supply:
供給電源
5VDC ±[email protected](取扱説明
@ 48mA when used with
5VDC±5%
書を参照)
recommended termination (see installation manual)
Temperature
温度
稼動時:
Operating:
Storage:
保存時:
Humidity:
湿度
EMI:
EMI
Shock:
衝撃
Vibration:
振動
Sensor Weight:
センサー重量
Sensor Cable:
ケーブル
up to 130mm
≤ ±5μm for scales
from 130mm to 1m
0∼70℃
0 to 70°C
-20 to 85°C
-20∼85℃
10 to 90%
non-condensing
10∼90%
RHRH
ただし結露が無いこと
CE Compliant
CE準拠
300G 0.5 ms half sine
300G 0.5ms ハーフサイン
30G at 17Hz
17Hzで30G
6g (Sensor without cable)
6g(ケーブルを除くヘッド部分)
Double Shield
二重シールド
最長5m
Maxim
length: 5m
直径:2.8mm(0.110”)
Diameter:
2.8mm6(0.110”)
曲げ強度:[email protected]
6
Flex Life: 20 x 10 cycles @ 20mm bending radius
*Maximum
error over the specified movement when compared to a
*NISTトレーサブルレーザー干渉計規格と比較した場合の常温下の指定移動に
おける最大誤差
NIST-traceable laser interferometer standard, used at room temperature.
信頼性に関する情報
Reliability Information
5年間の期待信頼度:通常の動作状況で>99.6%
5 year Expected Reliability: >99.6% under normal
operating conditions.
Index:
stick-on optical marker can be placed anywhere;
原点:貼り付け式の光学マーカーを任意の位置に設定可能;双方向、最高速
bi-directional, full speed.
方向 “A”
参照マーカー領域
ケーブル径
位置関係を明確にするため、移動軸(X軸)の有効測定範
囲外にテープスケールを配置しています。
センサー取り付け面
テープスケール取り付け面
貫通穴
センサー取り付け板推奨穴あけ図
メタルテープスケール
剥離紙(テープスケール取り付け面)
SSスリーブ
ケーブル長
光学
貫通穴
NOTE:
注:
テープスケール使用時のセンサー。詳細な寸法と重要な注意事項についてはマーキュリーII™のインターフェース図面を参照してください。
Sensor shown with tape scale. Refer to the Mercury II™ interface drawings for additional dimensional details and important notes.
Page 5
System Specifications
システム仕様
MII 1900S
Analog Outputs
アナログ出力
20μm
ケーブル長
Cable
Length
+0.13M/-0.0
39.2
V*
V
8.28
90°
52.0
*テープスケール:0.6-1.2Vpp(差動出力)
*Tape scales: 0.6 - 1.2Vpp (Differential)
120hm終端まで
Across 120 Ohm termination
*Glass scales: 1.0 - 1.4Vpp (differential)
*ガラススケール:1.0-1.4Vpp(差動出力)
across 120 Ohm termination
120hm終端まで
*Other signal amplitudes available in
*その他OEM供給量の場合に可能な信号振幅
∅2.8
Cable Diameter
ケーブル径
15.7
OEM quantities
3.84
原点ウィンドウ
Index Window
20μm 代表値
Typical
5VDC
PIN 8
PIN 15
MII 1900S
ピン
PIN
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
機能
FUNCTION
SIN –
COS –
Index Window +
原点ウィンドウ+
5V
5V
Not Used
未使用
Not Used
未使用
Not Used
未使用
SIN +
COS +
Index Window –
原点ウィンドウGND
グランド
GND
グランド
Not Used
未使用
15
内部シールド*
Inner Shield*
*グランドおよび内部シールドは内部で接続
*GND
and Inner Shield are
internally connected
MII 1900H
ピン
PIN
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
Page 6
PIN 9
PIN 1
MII 1900H
ケーブル長
Cable
Length
+0.13M/-0.0
∅2.8
(7.2)
(4.1)
8.28
4.75
3.84
機能
FUNCTION
SIN +
COS +
SIN –
COSNot Used
未使用
Not Used
未使用
Index Window +
原点ウィンドウ+
5V
Index Window –
原点ウィンドウGND/Inner Shield
グランド/内部シールド
8.
Cable Diameter
ケーブル径
5.0
26.0
∅3.5 ± 0.07
Stainless Steel Sleeve
ステンレススチールスリーブ
PIN 9
KEY
PIN 10
PIN 1
PIN 9
PIN 2
SmartPrecision II Software
SmartPrecisionII™ソフトウェア
™
Setup Mercury II Encoders
マーキュリーIIエンコーダのセットアップ
sensors using the Signal Level display and Lissajous plots
・• Align
信号レベル表示とリサージュプロットを使ってセンサーをアライ
メント
• Verify index mark performance and see when the sensor has
・ 原点マークのパフォーマンスを確認し、いつセンサーがスケール
passed over the scale’s index mark
の原点マークを通過するかを把握
・• Verify
信号強度vs.ポジションプロットを使って全スケール長にわた
sensor output over full scale travel using the Signal
ってセンサー出力を確認
Strength vs. Position plot
マーキュリーIIエンコーダの動作をモニター
Monitor Mercury II Encoder Operation
• Read
encoder position in units of scale line counts
・
エンコーダの位置をスケールのラインカウント単位で読み取り
・
信号レベルアラームをモニター
• Monitor signal level alarms
Diagnose Mercury II Encoder
マーキュリーIIエンコーダの性能診断
Performance
・ 診断ツールとしてリサージュと信号強度プロットを使用
• Use Lissajous and Signal Strength plots as diagnostic tools
・ 迅速な技術サポートを得るためキャプチャ画面をマイクロEシステ
ムズにEメール送信
• Email
screen captures to MicroE Systems for rapid
・ technical
アラームをモニター
support
• Monitor alarms
コンピュータ要件:
Computer Requirements
Why use software with an encoder?
エンコーダとともにソフトウェアを使用する理由
The answer: To get more performance from your motion system.
理由:ご使用のモーションシステムでより高いパフォーマンスを
得るため
• Windows
2000,
XP XPまたはVista
or Vista
・
Windows
2000,
・
RS-232シリアルCOMポート(多くのラップトップがそうであるよ
• RS-232 serial COM port (for computers without a COM port,
うに、COMポートのないコンピュータの場合は、部品番号
such as many laptops, use Keyspan USB adapter, part number
USA-19HSのKeyspan USBアダプターを使用すること)
・ USA-19HS)
SmartPrecisionアライメントツール、型番ATMII1900Sまたは
ATMII1900HAlignment Tool, model ATMII1900S or
• SmartPrecision
ATMII1900H
Mercury II™ 1900’s simple LED alignment process does not require
マーキュリーII1900のLEDアライメントプロセスは簡単なためソフ
use of the software. However SmartPrecision II Software adds
トウェアは不要ですが、SmartPrecisionIIソフトウェアには以下の
unique functionality:
独自機能が付加されています。:
• Perform setup using the Signal Level display, Lissajous plots, and
・ 信号レベル表示、リサージュプロット、信号強度プロットを使
Signal Strength plots
用したセットアップ
Monitor system operation using digital readouts and
・ • デジタル読み出しやソフトウェアアラームを使用したシステム
動作のモニター
software alarms
・ 表示やデータプロットを使用した診断
Perform diagnostics using displays and data plots
・ • お客様の装置がどこにあっても、リサージュプロットのキャプ
チャ画面をマイクロEシステムズにEメール送信することで、遠
• Email Lissajous plot screen captures to MicroE Systems for remote
隔診断サポートが可能
diagnostic support, no matter where your equipment is located
SmartPrecisionIIソフトウェアはセットアップ、モニタリング、診
SmartPrecision II Software performs setup, monitoring, and
断を実施し、以下を表示します:
diagnostics. Its features include displays of:
・• Encoder
エンコーダの出力カウント
output counts
・ エンコーダの信号レベル
signal level
・• Encoder
原点のステータス
・• Status
ソフトウェアアラーム
of index
・ リサージュプロット
alarms
・• Software
信号強度vs.ポジションプロット
• Lissajous plot
• Signal strength vs. Position plot
Page 7
PurePrecision™貼り付け式原点付レーザーテープスケール
PurePrecision™ Laser Tape Scale with Stick-On
Index
マーキュリーII™のPurePrecisionレーザーテープスケールは、
Mercury II™ ’s PurePrecision laser tape scale is fast and easy to
強力な粘着テープの使用により簡単かつ迅速です。回路基板の
install, provides excellent accuracy and takes less space than any
熱膨張には、付属のエポキシとエンドキャップでテープスケー
encoder in its class. It mounts using a permanent pressure-sensitive
ルの終端をしっかりと固定することで対応します。同クラスの
adhesive. Thermal expansion of the substrate is matched by
どのエンコーダよりも省スペースで、優れた精度をご提供しま
す。
anchoring the ends of the tape scale using epoxy and end caps.
最長30mまでのテープはディスペ
Tape is supplied in a
ンサーにて供給されますので、お
dispenser in lengths up to
客様のアプリケーションに必要な
30m so that you can cut any
長さでカットでき、在庫コストを
length required for your
最小限に抑えられます。また、大
量のOEMアプリケーションにご使
application, minimizing
用いただく場合には、ご注文時に
inventory costs, or it may be
あらかじめ長さをご指定いただく
ordered pre-cut to any length
ことも可能です。
you specify for high-volume
OEM applications.
様々な長さの取り付けもマイクロ
Installation
for a wide range of lengths is fast and easy
Eシステムズのテープアプリケータ
using MicroE Systems’ tape applicator tool, or
ーツールを使って迅速かつ簡単に行
without a tool by hand. When using the
えます。ツールを使わずに手で行
installation tool, release paper is
っても構いません。取り付けツール
をご使用の場合は剥離紙が自動的に
automatically removed from the
テープから剥がれるようになってい
tape. The tape's location on the
ます。取り付け面上のテープの位置
mounting surface is set by a reference
は、回路基板内に機械加工された、
edge that is either machined into the
あるいは一時的に設定した基準エ
substrate or is put in place temporarily.
ッジで決定します。
Page 8
貼り付け(粘着取り付け)式の光学原点マーカ
The stick-on (adhesive-mount) optical index marker is
ーは、テープへの取り付けが数秒で可能です。
mounted on the tape in seconds usually using the same
通常は、テープスケールと同じ基準エッジを使
reference edge as for the tape scale. This space-saving
用します。このような省スペース設計が原点を
design keeps the index marker within the 6mm width of
6mm幅のテープ内に収めるため、スペースの
原点
制約があるモーションシステムに理想的です。
the tape, ideal for space-constrained motion systems.
原点は双方向で、あらゆるエンコーダの速度で
The index is bi-directional and operates at all encoder
動作します。
speeds. View the Tape Scale Installation video at
www.microesys.com/MercuryIIにアクセスして
www.microesys.com/Mercury
II for a demonstration.
Tape
Scale Installation(テープスケール取り付
け)ビデオで実演の様子をご覧ください。
Mercury II PurePrecision tape scale may also be installed using
マーキュリーIIのPurePrecision™テープスケー
scale applicator tools for 6mm-wide tape from other manufacturers.
ルは、市販の6mm幅テープ用のスケールアプ
リケーターツールを使って取り付けることも可
能です。
™
PurePrecision™貼り付け式原点付レーザーテープスケール
PurePrecision
Laser Tape Scale with Stick-On Index
レーザースケールの長さは、お客様のアプリケーションに合わせてご指定
The laser scale length that you specify for your application must
できます。以下のように計算してください。この計算は、アプリケーシ
be calculated as follows. This calculation applies whether you
ョンにエンドキャップが必要か否かによって適用されます。テープスケー
are using end caps or not. 20mm at each end of the tape scale
ルの各終端から20mmはエンコーダのフィードバックに使用しません。
are not to be used for encoder feedback.
テープスケールの長さ=測定長+40mm
Tape Scale Length = Measuring Length + 40mm
Example: Measuring Length of 800mm is required, and end
例:
caps will be used at the end of the tape scale. The Tape Scale
必要な測定長が800mmで、エンドキャップをテープスケールの終端で使用
Length = 800mm + 40mm = 840mm.
する場合。
テープスケールの長さ=800mm+40mm=840mm
仕様
Specifications
精度
Accuracy
±5μm/m、お客様のコントローラーで2ヶ所にてリニアライゼーション後
±5μm/m after two-point linearization in the customer’s controller
Material
材質
Inconel
625
Inconel
625
Typical CTE
標準CTE
(熱膨張率)
13ppm/°C; thermal behavior of the tape scale is typically
13ppm/℃;テープスケールの温度特性は、通常テープスケールの終
端にエポキシを使用して回路基板に合わせる
matched to the substrate using epoxy at the ends of the tape scale
原点マーカーおよびエンドキャップの位置
Index Marker an End Cap Locations
テープスケールの長さ(ML+40mm)
Tape Scale Length (ML + 40mm)
測定長(ML)
Measuring
Length (ML)
D
Index Marker
End
Cap
エンドキャップ
D
20.00mm
原点マーカー
6.00mm
エンドキャップ
End Cap
13.00mm
= 取り付け面基準エッジ
Mounting Surface Reference Edge
ご利用可能な長さ:
Available Lengths:
Order as much tape scale as you will require for your production and cut it to length for each job, or order pre-cut lengths to match your
お客様の製造に必要な長さの分のテープスケールをご注文いただき、それぞれのジョブに合わせた長さにカットしてください。ま
た、お客様のアプリケーション要件に合わせてあらかじめカットした長さをご注文いただくこともできます。エンドキャップを使
application requirements. Note that the Measuring Length for each axis in your equipment will be 40mm less than the Tape Scale Length
用しない場合、測定長がテープスケールの長さよりもそれぞれ両軸から40mm短くなることにご注意ください。PurePrecisionレー
when end caps are not used. PurePrecision laser tape scale is shipped in tubes for lengths from 40mm - 500mm and in dispensers for
ザーテープスケールは、長さが40mm∼500mmの場合はチューブで、500mm以上の長さの場合はディスペンサーで発送されます。
lengths greater than 500mm.
型番TS-xxxxx(xxxxx=mm単位のテープスケールの長さ[40mm∼30000mm])を使用して、必要な長さのテープスケールをご注文
ください。
Order the required Tape Scale Length using model number TS-xxxxx (where xxxxx = Tape Scale Length in mm [40mm - 30000mm].
例(9000mmのテープスケール):TS-09000。30m以上のテープスケールをご希望の場合は弊社へご相談ください。
Example (9000mm Tape Scale): TS-09000. Contact MicroE Systems for lengths greater than 30m.
Page 9
Linear Glass Scales with Stick-on
貼り付け式原点付リニアガラススケール
マイクロEシステムズでは、様々な長さと二種類の精度等級の
MicroE Systems offers chrome on glass scales in a wide range of
クロムパターンのガラススケールをご提供しています。標準
lengths and two accuracy grades. Easy to install, choose from
のリニアスケールとカスタマイズスケールから選べ、簡単に
standard linear scales or customized scales where needed. Use
取り付けることができます。高精度および温度安定性が求め
linear glass scales when you need higher accuracy or thermal
られる場合は、テープスケールではなくリニアガラススケー
performance than tape scales.
ルをご使用ください。
Glass Scale Options
ガラススケールのオプション:
•標準リニア:10mm∼1m(これよりも長いスケールをご希望
• Standard linear: 10mm - 1m (consult MicroE for longer lengths)
の場合は、弊社にお問い合わせください)
• Custom linear*: special lengths, widths, thickness, index mark
•カスタマイズリニア*:特注の長さ、幅、厚さ、原点マークの
locations, pre-printed index, and special low CTE materials
位置、プリント済み原点、および低熱膨張材質
*Custom scales are available in OEM quantities. Contact your local MicroE Systems
*カスタマイズスケールはOEMの数量で対応可能です。詳しくはお近くの弊社営業所までお
sales office.
問い合わせください。
リニアガラススケールの特長
Linear Glass Scale Features
Index
スケールの長さはお客様のアプリケーションに合わせてご指定
The scale length that you specify for your application must be
できます。以下のように計算してください。
calculated as follows.
ガラススケールの長さ=測定長+5mm
Glass Scale Length = Measuring Length + 5mm
例:
必要な測定長が25mmの場合。スケールの長さ
Example: A Measuring Length of 25mm is required. Scale Length =
=25mm+5mm=30mm。
25mm + 5mm = 30mm.
工場にてお好みの長さにカットすることも可能:
Factory cut-to-length flexibility:
工場でお好みの長さにカットしたガラススケールの提供を可
Mercury II’s stick-on index marker makes factory cut-to-length glass
scales possible, enabling rapid turnaround for any scale length and
能にするマーキュリーIIの貼り付け式原点マーカー。ご使用の
helping you exactly match your application requirements. For OEM
アプリケーション要求にぴったり一致した、あらゆる長さの
applications, linear glass scales can be ordered with a pre-printed
スケールを迅速に交換できます。OEMのアプリケーションに
index, speeding installation.
ついては、プリント済み原点のリニアガラススケールをご注
文いただくこともできるため、設置時間を短縮できます。
130mm以下のマーキュリーIIのリニアガラススケールはわずか
Mercury II linear glass scales 130mm or shorter are only 6mm
6mm幅なので、既存の6mm幅テープスケールのエンコーダと
wide, enabling drop-in replacement of existing 6mm wide tape
完全に入れ替えることができ、モーションシステムの分解能と
scale encoders for dramatic improvements in motion system
精度が大幅に向上します。
resolution and accuracy.
The stick-on (adhesive-mount) optical index marker is mounted on
貼り付け(粘着取り付け)式の光学原点マーカーは、数秒でテ
the scale in seconds usually using the same reference edge as for
ープに取り付けられます。通常は、スケールあるいはメタルブ
the scale or a metal block. This space-saving design keeps the
ロックと同じ基準エッジを使用します。このような省スペース
index marker within the 6mm width of the scale, ideal for space設計が原点マーカーを6mm幅のテープ内に収めるため、スペ
constrained motion systems. The index is bi- directional and
ースの制約があるモーションシステムに理想的です。原点は双
operates at all encoder speeds.
方向で、あらゆるエンコーダの速度で動作します。
標準ショートリニアスケール
Standard Short Linear Scales
130mm以下
130mm and Shorter
単位:mm
Dimensions in mm.
仕様
Specifications
型番MIILxxxx(xxxx=mm単位のスケールの長さ
Order the required Scale Length using model number
[10mm∼1000mm])を使用して、必要な長さのスケールをご注文くだ
MII Lxxxx where xxxx = Scale length in mm (10mm さい。
1000mm). Example: (30mm Linear Glass Scale): MII L30.
例(30mmのリニアガラスケール):MIIL30m。
±1.5μm 標準精度
±1.5μm standard accuracy grade
±1μmも可能(高精度)
精度
Accuracy
±1μm available (high accuracy grade)
ソーダライムガラス
Soda
lime glass
8ppm/℃
標準CTE(熱膨張率)
Typical CTE
8ppm/°C
材質
Material
スケールの長さ(ML+5mm)
Scale
Length (ML + 5mm)
測定長(ML)
Measuring
Length (ML)
原点マーカー
index marker
2.50mm
6.00mm
D
D
= 取り付け面基準エッジ
Mounting Surface Reference Edge
2.49mm
Note: The following are only examples; you can order any size.
注:以下は代表値です。あらゆるサイズをご注文いただけます。
モデル
Model
MIIL18
MIIL30
MIIL55
MIIL80
MIIL105
MIIL130
スケールの長さ
Scale Length
18mm
30mm
55mm
80mm
105mm
130mm
測定長
Measuring Length
13mm
25mm
50mm
75mm
100mm
125mm
プリント済み原点付スケールなど、カスタマイズスケールも可能です。
Custom scales available, including scales with pre-printed index
Page 10
貼り付け式原点付リニアガラススケール
Linear Glass Scales with Stick-on
Index
Standard Long Linear Scales
標準ロングリニアスケール
131mm and longer
131mm以上
単位:mm
Dimensions in mm.
仕様
Specifications
精度
Accuracy
±5μm 標準精度
±5μm
standard accuracy grade
±2μmも可能(高精度)
±2μm
available (high accuracy grade)
材質
Material
型番MIILxxxx(xxxx=mm単位のスケールの長さ[10mm∼1000mm])を使用
して、必要な長さのスケールをご注文ください。
Order the required Scale Length using model number MIILxxxx where xxxx =
例(225mmのリニアガラスケール):MIIL225m。長さが1mを超える場合
Scale length in mm (10mm - 1000mm). Example: (225mm Linear Glass Scale):
はマイクロEシステムズにご連絡ください。
MIIL225. Contact MicroE Systems for lengths greater than 1m.
ソーダライムガラス
Soda
lime glass
Typical CTE
8ppm/°C
標準CTE(熱膨張率)
8ppm/℃
スケールの長さ(ML+5mm)
Scale
Length (ML + 5mm)
測定長(ML)
Measuring
Length (ML)
2.50mm
原点マーカー
Index Marker
20.00mm
D
2.49mm
D
= 取り付け面基準エッジ
Mounting Surface Reference Edge
注:以下は代表値です。あらゆるサイズをご注文いただけます。
Note: The following are only examples; you can order any size.
モデル
Model
MIIL155
MIIL225
MIIL325
MIIL425
MIIL525
MIIL1025
Scale Length
スケールの長さ
155mm
225mm
325mm
425mm
525mm
1025mm
測定長
Measuring Length
150mm
220mm
320mm
420mm
520mm
1020mm
プリント済み原点付スケールなど、カスタマイズスケールも可能です。
Custom scales available, including scales with pre-printed index
Page 11
Installation Accessory
取り付け用キット
Kits
Compatible with all Mercury II™ encoder
取り付け用キットにはマーキュリーII™エンコ
ーダの取り付けに必要な全てのものが備わ
models, Installation Accessory Kits provide
っており、マーキュリーIIの全モデルでご使用
everything you need to install Mercury II
いただけます。キットは「非消耗品」と「消
encoders. Kits come in “non-consumable” and
耗品」の2タイプ。
“consumable” styles. Non-consumable kits are
「非消耗品」のキットは初めて購入される方
向けで、初回のみ購入が必要な専用ツールと
designed for first-time buyers. They include the
5回分の取り付けに必要な消耗品をセットし
special tools that you only need to buy once,
ています。「消耗品」のキットは、「非消耗
and add all of the consumables needed for
品」のキット内の消耗品を使い終わった後に
five installations. Consumable kits are for
再び注文する方向けで、10回分の取り付けに
customers to reorder after they have used up
必要な全消耗品をセットしています。どちら
のキットにも、メートル式と米国式、両方の
the consumable materials in the Nonセンサー取り付けネジと六角レンチが同封さ
consumable kits. The Consumables Kits
れており、梱包は保存に便利な包装を使用し
include all materials necessary for 10
ています。なお、キットの使用方法について
installations. All Accessory Kits include both
は、www.microesys.com/MercuryIIにてマーキ
ュリーIIエンコーダモデルの取扱説明書をご参
Metric and US Customary sensor mounting
照ください。
screws and hex wrenches, and come
MIIAK-1 テープスケール取り付け用非消耗品(取り付け5回分の消耗品を含む)
packaged in a kit for convenient storage. For
MIIAK-1
Non-consumables for Tape Scale Installations
instructions about how to use the kits, see the
(includes
consumables
for
five
installations)
MIIAK-2 テープスケール取り付け用消耗品(取り付け10回分の消耗品を含む)
installation manual for Mercury II encoders at
MIIAK-3
リニアガラススケール取り付け用非消耗品(取り付け5回分の消耗品を含む)
www.microesys.com/MercuryII.
MIIAK-2
Consumables for Tape Scale Installations
MIIAK-4
(includes consumables for 10 installations)
リニアガラススケール取り付け用消耗品(取り付け10回分の消耗品を含む)
MIIAK-3
Non-consumables for Linear Glass Scale Installations
(includes consumables for five installations)
MIIAK-4
Consumables for Linear Glass Scale Installations
(includes consumables for 10 installations)
MIIAK-1
MIIAK-2
MIIAK-3
テープスケールアプリケーターツール−テープスケール貼り付け用
Tape
Scale Applicator Tool - for applying tape scale
1
テープスケールカッター−テープスケールのカッティング用
Tape Scale Shears - for cutting tape scale
1
ピンセット−先端がとがったプラスチック
Tweezers - plastic with sharp tips
1
1
センサーハイトゲージ−センサー高の確認用
Sensor Height Gage - for verifying sensor height
1
1
原点マーカー−テープまたはリニアガラススケール用
Index Marker - for tape or linear glass scales
5
10
10
20
テープスケールのエンドキャップ(テープスケールの取り付け一回につき
Tape Scale End Caps (two required per tape scale installation)
2個必要)
ツーパートエポキシ−スケール取り付け用
Two-part Epoxy - for mounting scales
5パッケージ
5 Packages
10パッケージ
10 Packages
シリコーン接着剤−リニアガラススケール取り付け用
Silicone Adhesive - for mounting linear glass scales
MIIAK-4
5
10
5パッケージ
5 Packages
10パッケージ
10 Packages
チューブ1個
1 Tube
チューブ1個
1 Tube
パウダーフリーの指サック
Powder-Free Finger Cots
8
15
8
15
スケールのクリーニングティッシュ
Scale Cleaning Tissues
8
15
8
15
センサー取り付けネジ−M2.5x6mm
Sensor Mounting Screws - M2.5x6mm
10
20
10
20
センサー取り付けネジ−2-56UNCx1/4インチ
Sensor Mounting Screws - 2-56UNCx1/4 inch
10
20
10
20
M2.5ネジ用六角レンチ
Hex Wrench for M2.5 Screws
1
1
2-56UNCネジ用六角レンチ
Hex Wrench for 2-56UNC Screws
1
1
Page 12
マーキュリーII™
1900エンコーダ、アライメントツール、ソフトウェアのご注文方法
How to Order
Mercury II™ 1900
Encoders, Alignment Tools, and Software
ご希望のコネクターとケーブル長でマーキュリーII
To specify your Mercury II 1900 encoder with the desired1900エンコーダを指定するため、以下に記載した各システムのモデル番号ご
connector and cable length, order the required quantities for each system model
とに必要な数量をご注文ください。また、スケールと追加アイテムのご注文にも以下のモデル番号をお使いください。詳細につ
number below. Order scales and additional items using their model number. Call MicroE Systems’ Rapid Customer Response team for more
いては、弊社のラピッドカスタマーレスポンスチームにお電話にてお問い合わせください(米国内:[800]355-4047、米国外
information at 508-903-5000 (800-355-4047 in the US).
:[508]903-5000)。
Example:
例: MII1905-S
⎯
MII19XX
MII1905 = 0.5mケーブル
cable
MII1910 = 1m ケーブル
cable
MII1950 = 5m ケーブル
cable
コネクターの種類
Connector
Type
S = Standard 15 pin D-Sub
S=標準の15ピンD-Sub
H=マイクロコネクター
H = Micro-connector
PurePrecisionアライメントツールのご注文方法
How to Order SmartPrecision
Alignment Tool
Required
for MII1900 setup
MII
1900のセットアップ用
PurePrecision™レーザーテープスケールのご注文方法
How to Order PurePrecision™
Laser Tape Scales
例(8000mmのテープスケール):TS-08000
Example (8000mm Tape Scale): TS-08000
例:マーキュリーII
Example: Alignment1900エンコーダ用アライメントツ
Tool for MercuryII 1900 encoder,
ール、120
120 VAC =VAC=ATMII1900-S-120
ATMII1900-S-120
ATMII1900
⎯
コネクター
Connector
⎯
電圧
Voltage
120=120
SS=
=
120
= 120VAC、60Hz
VAC, 60Hz
標準の15ピンD-Sub 米国標準2極プラグ
15-pin Std.
D-sub
H=
US Std. 2-prong plug
H=
micro connector
European Std.
2-prong plug
220=220 VAC、50Hz
マイクロコネクター 220
欧州標準2極プラグ
= 220 VAC, 50Hz
How to Order SmartPrecision II Software
SmartPrecisionIIソフトウェアのご注文方法
ATMII1900アライメントツールのオプション
Optional for ATMII1900 Alignment Tool
SPSWMII-AT
SmartPrecisionIIソフトウェアのCDおよびインターフェースケーブル
SmartPrecision II software on CD and interface cable
TS-xxxxx
Where xxxxx = Tape Scale Length in mm
xxxxx=mm単位のテープスケールの長さ
(40mm-30000mm)。
(40mm - 30000mm).
MS
MS=原点マーカー1個
MS = One index marker
EC
EC=テープスケールのエンドキャップ1個(パッケージ毎に
EC = One tape scale end cap
10個:10個単位で注文)
(10 per bag; Must be ordered in multiples of 10)
(注:テープスケール取り付け毎に2個を推奨)
(Note: two are recommended per tape scale installation)
PurePrecision Linear Glass Scales
PurePrecisionリニアガラススケール
(標準精度)
(Standard accuracy grade)
例(350mmのリニアガラススケール):MIIL350
Example (350mm Linear Glass Scale): MIIL350
MIILxxxx
xxxx=mm単位のガラススケールの長さ
Where xxxx = Glass Scale Length in mm
(10mm-1000mm)。
(10mm - 1000mm).
(高精度スケール:弊社にご相談ください。)
(High accuracy grade scales: consult MicroE Systems)
注:原点マーカーは別途ご注文ください−リニアガラススケール1個に
Note: index markers must be ordered separately - one per linear glass scale
つき1個
Page 13
How to Order Mercury II Encoder Systems
マーキュリーII™エンコーダシステムのご注文方法
™
取り付け付属品キット
Installation Accessory Kits
Example (Consumables Kit for Tape Scale Installations): MIIAK-2
例(テープスケール取り付け用消耗品キット):MIIAK-2
MIIAK −
キット番号
Kit Number
1 = Kit 1, Non-consumables for tape scale installations. Includes consumables for (5) installations.
1 = キット1、テープスケール取り付け用非消耗品。取り付け5回分の消耗品を含む。
2 = Kit 2, Consumables for tape scale installations. Includes consumables for (10) installations.
2 = キット2、テープスケール取り付け用消耗品。取り付け10回分の消耗品を含む。
3 = Kit 3, Non-consumables for glass scale installations. Includes consumables for (5) installations.
3 = キット3、ガラススケール取り付け用非消耗品。取り付け5回分の消耗品を含む。
4 = Kit 4, Consumables for glass scale installations. Includes consumables for (10) installations.
4 = キット4、ガラススケール取り付け用消耗品。取り付け10回分の消耗品を含む。
マーキュリーIIエンコーダはRoHSに完全準拠
Mercury II Encoders Are Fully RoHS-Compliant
マーキュリーIIはヨーロッパ指令2002/95/EC(有害物質使用制限、「RoHS」)に完全に準拠しています。ご要望により適
Mercury II is fully compliant with European Directive 2002/95/EC (Restriction of use of Hazardous Substances, “RoHS”).
合証書をご提供いたします。「マーキュリー」はマイクロEシステムズの商標名です。マーキュリーとマーキュリーIIエン
A Document of Compliance is available upon request. “Mercury™” is a brand name of MicroE Systems; Mercury and
コーダに水銀金属は含まれておりません。
Mercury II encoders do not contain any mercury metal.
真空仕様および直径の小さいロータリエンコーダ
Vacuum-Rated and Small Diameter
Rotary Encoders
See www.microesys.com/mercury for Mercury linear and rotary encoders that are vacuum rated up to 10-8 Torr, and small-
-8
マーキュリーの最高10 トールまでの真空仕様リニア・ロータリエンコーダ、およびスケール外径32mm∼12mmまでの直
diameter rotary encoders
with scale outside diameters from 32mm to 12mm.
径の小さいロータリエンコーダについては、弊社ホームページwww.microesys.com/mercuryを参照してください。
All specifications are subject to change.
全ての仕様は変更されることがあります。
DS - MII1900 Rev. A
Page 14
MicroE Systems - World Headquarters: 8 Erie Drive, Natick, MA 01760
www.microesys.com
[email protected]
T. 508-903-5000
F. 508-655-7084
©2008 MicroE Systems