EnergyMaxTMシリーズ

レーザ計測機器 (&&/%(&'&
パワー
エネルギー測定
;d[h]oCWnJCシリーズ
主な特長
・BWXCWn#JEF、
<_[bZCWnⅡ#JEF%F、;FC(&&&
パワー
エネルギーメータ
● 接続可能なディスプレイ
● +ラインナップ('機種
● 平均パワー値を増大
パワーセンサー
・ヒートシンク
(着脱式・オプション)
で最大,(M
● コーティング%ディフューザの新規開発
・高損傷閾値、反射光の低減
● 波長補正機能
・校正波長以外の波長で使用する際の補正機能
エネルギー
センサー
● 温度補正機能
・温度による特性変化を自動的に補正
カスタム
;d[h]oCWnシリーズは、焦電気素子を使用したエネルギーセンサーで、筐体の構造を刷新し、
コーティングやディフューザを新たに
開発しました。
これにより各センサーの測定範囲を広げることができ、少ないラインナップで広い領域をカバーします。
また、特殊用
途のセンサーは、
より特化した仕様を打ち出すことができ、
すべての面で従来機を凌駕しています。
E
;
C
ビーム診断
波長分析
エネルギー範囲とセンサーの選択
;d[h]oCWnシリーズは筐体構造を刷新し、センサー口径を)
種類に統一しました。
口径が大きなものほどエネルギー範囲は
大きく、汎用センサーでは口径ごとに高エネルギータイプと低エ
ネルギータイプを用意しました。
これにより、大きなビーム径で
小さなエネルギーを測定するアプリケーションにも対応が可能
です。
ビーム診断
波長分析
通常は、
CWn8bWYaコーティングの各センサーから口径を選択
し、
エネルギー範囲から適切なセンサーを選択いただくことに
なります。
高繰返しの必要な場合には、
C[jWbディフューズコー
ティングセンサー、
低繰返しで高エネルギー密度の場合には
CWn8bWYaディフューズコーティングを、
KL 領域での損傷を考
慮する場合にはCWnKLコーティングセンサーなどが候補となり
校正とサービス
ます。
このように、
アプリケーションに最も適したコーティングと
口径を選択することで、
損傷しにくく、
高精度の測定を行ってい
ただくことができます。
表 'に各センサーのエネルギー範囲を示しましたのでご参照く
ヒートシンクによる平均パワーの増大
;d[h]oCWnのもっともユニークな機能として、
ヒートシンク
(オプ
ション)の採用があります。
このヒートシンクは大型、中型、小型
の)種類の大きさがあり、ユーザが簡単に着脱できるようになっ
ています。
(+ cc口径のセンサーには、小型と中型が装着可能です。小
型、中型のヒートシンク装着時には、未装着時に比べてそれぞ
れ約 ( 倍、約 ) 倍の平均パワーを得ることができます。
また、+&
cc口径のセンサーには大型のみ装着可能です。大型ヒートシ
ンク装着時には未装着時に比べて約($+倍の平均パワーを得る
ことができます
(表 ( 参照)。なお、'& cc口径のセンサー用の
ヒートシンクはありません。
通常、最大平均パワー(エネルギー値 繰返しレート)
を超える場
合には、繰返しレートを遅くしたり、
エネルギーを減衰したりする
必要があります。
これらのヒートシンクを使うことにより最大平均
パワーをより大きくでき、測定上の制限を大幅に低くすることが
できます。
ださい。
索
引
コーティングとディフューザ
;d[h]oCWnシリーズは、新たに開発されたディフューザや改良
されたコーティングを採用しており、損傷閾値や繰返しレート
を大幅に改善しました。
また、高繰返し用のメタルコーティング
は反射率+&ですが、
ディフューザによって反射光は散乱され
ているため、戻り光の問題は少なくなっています。
ヒートシンク外観
(+cc 口径のセンサーに小型と中型
のヒートシンクを装着した外観
※性能を維持するために、
レーザパワー/エネルギーメータおよびセンサーは、少なくとも年に'回の校正をお奨めいたします。
40
本価格、本仕様は予告なく変更される場合が
ございます。ご購入時必ずご確認ください。
・ J;B&)#+,)+#.,.& ・ mmm$Ye^[h[dj$Ye$`f
レーザ計測機器 (&&/%(&'&
パワー
エネルギー測定
;d[h]oCWnシリーズ
各種補正機能
中
大
J-10SI-HE
1064
60 mW
ー
ー
ー
J-10SI-LE
1064
6 mW
ー
ー
ー
J-10GE-LE
1064
15 mW
ー
ー
ー
J-50MB-HE(LE)
1064
10W
ー
ー
24W
J-25MB-HE(LE)
1064
5W
10W
15W
ー
J-10MB-HE(LE)
1064
4W
ー
ー
ー
J-50MT-10KHZ
1064
20W
ー
ー
49W
J-25MT-10KHZ
1064
10W
20W
31W
ー
J-10MT-10KHZ
1064
1W
ー
ー
ー
J-50MB-YAG
1064
20W
ー
ー
48W
J-25MB-IR
1064
20W
41W
62W
ー
J-50MB-IR
1064、2940
15W
ー
ー
ー*1
ディフューザなし
248
10W
ー
ー
25W
ディフューザ付
248
15W
ー
ー
36W
J-50MUV-193
ディフューザなし
193
10W
ー
ー
30W
J-50MUV-193
ディフューザ付
193
18W
ー
ー
43W
J-25MUV-248
ディフューザなし
248
5W
10W
16W
ー
J-25MUV-193
ディフューザなし
193
5W
10W
15W
ー
カスタム
J-50MUV-248
J-50MUV-248
E
;
C
*1ヒートシンク装着は推奨しません。
ビーム診断
波長分析
ヒートシンク詳細図面
中型ヒートシンク
小型ヒートシンク
Ø 50.80 mm
Ø 50.80 mm
大
大型ヒートシンク
Ø
Ø 76.20 mm
ビーム診断
50.80 mm
77.98 mm
3.43 mm
エネルギー
センサー
小
パワーセンサー
標準
パワー
最大平均パワー値
測定波長
(dc)
センサーモデル
エネルギーメータ
平均パワー値一覧
73.15 mm
D
3.43 mm
No. 8-32 UNC-2A THD
SOC HD Cap Screw
D
4.06 mm
No. 8-32 UNC-2A THD
SOC HD Cap Screw
品番
1123430
品番
1123431
品番
1123432
標準価格(税別)
14,000 円
標準価格(税別)
18,000 円
標準価格(税別)
20,000 円
温度補正機能
;d[h]oCWnは、前述のようにヒートシンクを装着することで、
より
大きな最大平均パワーでのエネルギー測定が可能です。
しかし、
より大きなパワーを入力できることは、センサー温度を容易に上
昇させ、計測結果が大きくずれる要因となります。焦電気物質は
温度による特性の変化が顕著なため、
これまで温度上昇をもた
らす高い平均パワーでの測定が困難でした。;d[h]oCWnは、
セン
サー内に温度検知機能を装備し、温度を常にモニターし温度補
正を行うことでこの温度特性による誤差を解決しました。
これによ
りセンサー温度の変化による測定値の変動を補正できます。ま
た、温度管理が確実に行えるため、筐体の大きさ、厚さも従来機
よりもコンパクト化が図られました。
索
引
います。
校正とサービス
波長補正機能
サーモパイル式パワーセンサーでは、
コーティングの波長によ
る吸収特性の違いにより、校正波長以外では数%の誤差が生
じるため、一般的に、
自動的にこの誤差を補正できる波長補正
機能が普及しています。
しかしエネルギーセンサーの場合には
この様な補正機能はなく、ユーザが補正を行う必要がありま
した。;d[h]oCWnは、パワー測定同様、ディスプレイ側で実際
に測定する波長を入力するだけで自動的に波長補正を行う機
能を追加しました。
これにより、
ユーザ側の負担を軽減し、
より
精度の高い測定が可能です。
また、校正波長以外で使用した
場合の追加誤差は、波長範囲によらず ( 以下に抑えられて
波長分析
No. 8-32 UNC-2A THD
SOC HD Cap Screw
繰返しレートによる追加誤差
従来、
エネルギーセンサーは繰返しレートが早くなればなるほ
ど、測定結果が小さくなる傾向がありました。その誤差は数%
以上となることもあり、特に仕様の上限に近い繰返しレートで
測定する際には注意が必要でした。
;d[h]oCWnシリーズは繰返
しレートによる追加誤差を仕様レート内で &$+以下に規定し
ており、繰返しレートによらず安心してお使いいただけます。
※性能を維持するために、
レーザパワー/エネルギーメータおよびセンサーは、
少なくとも年に'回の校正をお奨めいたします。
mmm$Ye^[h[dj$Ye$`f ・ J;B&)#+,)+#.,.& ・
本価格、本仕様は予告なく変更される場合が
ございます。ご購入時必ずご確認ください。
41
レーザ計測機器 (&&/%(&'&
パワー
エネルギー測定
Energy
Max
クァンタムエネルギーセンサー
RoHS
微小エネルギー測定用
パワー
エネルギーメータ
● フォトダイオード型エネルギーセンサー
● エネルギー範囲:(&[email protected],ª@
● 繰返しレート:'&"&&&ffi
パワーセンサー
● 低ノイズ:<'f@#.f@
● 波長校正&温度補正機能付
※クァンタムエネルギーセンサーは、BWXCWn#JEF及び;FC(&&&と
使用可能です。
エネルギー
センサー
フォトダイオードを使用した、
微小エネルギー測定用の高繰返
A>zクラスのウルトラファストレーザを低ノイ
しセンサーです。
ズで測定するの非常に有効です。
@#'&I?#>;
@#'&I?#B;
@#'&=;#B;
200 pJ to 400 nJ(@532 nm)
20 pJ to 40 nJ(@532 nm)
200 pJ to 400 nJ(@1064 nm)
仕様
カスタム
エネルギー範囲
その他の波長におけるエネルギー範囲は下図を参照
<1 pJ(@532 nm)
ノイズ等価エネルギー
E
;
C
800 nm to 1700 nm
10 mm
有効エリア径
ビーム診断
波長分析
<8 pJ(@1064 nm)
325 nm to 900 nm
波長範囲
60 mW
最大平均パワー
6 mW
15 mW
10,000 pps
最大繰返しレート
1 µs
最大パルス幅
センサーコーティング
シリコン
ゲルマニウム
ND2
ディフューザ
532 nm
校正波長
1064 nm
3%
ビーム診断
校正確度
3%
エネルギーリニアリティ
2.5 m
ケーブル長
J DB-25
コネクタタイプ
品番
標準価格(税別)
1150146
1140727
1140408
248,000円
248,000円
288,000円
波長分析
42.85mm
校正とサービス
20.45mm
クァンタムエネルギーセンサーの対応波長と各エネルギー範囲
2X
4.57mm
50.80 mm
1/2 -28 UNEF - 2B
10mm
M6-6H THD
調整可能
200.15mm
∼117.60mm
索
引
76.20mm
Note: Diffuser Surface
is 3.56mm (.140")
Below Front Surface
of Aperture Plate
エネルギー(@)
Aperture
Plate
50.80mm
波長(dm)
※性能を維持するために、
レーザパワー/エネルギーメータおよびセンサーは、少なくとも年に'回の校正をお奨めいたします。
42
本価格、本仕様は予告なく変更される場合が
ございます。ご購入時必ずご確認ください。
・ J;B&)#+,)+#.,.& ・ mmm$Ye^[h[dj$Ye$`f
レーザ計測機器 (&&/%(&'&
パワー
エネルギー測定
Energy
Max
CWn8bWYaエネルギーセンサー
RoHS
幅広いアプリケーション向け
● 波長範囲:'/&dcje'(ªc
● エネルギー範囲:)&&[email protected](@
● 損傷閾値:+&&c@%Yc(6'&,*dc"'&di[Y
● 波長補正&温度補正機能付
エネルギー
センサー
新CWn8bWYaJCコーティングの全面的採用により、
高損傷閾値、
高繰返し、
最大パワーを増大させ、
高い次元でのエネルギー測定を可
能にしました。
J-50MB-HE
仕様
ノイズ等価エネルギー
J-25MB-LE
J-10MB-HE
J-10MB-LE
1 mJ
to 2J
250 μJ
to 500 mJ
J-25MB-HE
500 μJ
to 1J
25 μJ
to 50 mJ
10 μJ
to 20 mJ
300 nJ
to 600 μJ
<33 μJ
<8 μJ
<16 μJ
<1 μJ
<0.5 μJ
<20 nJ
カスタム
エネルギー範囲
J-50MB-LE
190 nm to 12 μm
波長範囲
有効エリア径
50 mm
25 mm
10 mm
10W
5W
4W
24W
15W
最大平均パワー
ヒートシンク装着時
ビーム診断
波長分析
17 μs
1000 pps
300 pps
最大繰返しレート
E
;
C
ー
57 μs
最大パルス幅
最大エネルギー密度
500 [email protected] nm, 10 ns
センサーコーティング
MaxBlack
なし
ディフューザ
パワーセンサー
● 繰返しレート:)&&je'&&&ffi
パワー
エネルギーメータ
● 最大平均パワー:*Mje(*M
1064 nm
校正波長
ビーム診断
2%
校正確度
3%
エネルギーリニアリティ
2.5 m
ケーブル長
J DB-25
コネクタタイプ
品番
1110576
1110746
1110743
1110843
1110855
210,000円
210,000円
190,000円
190,000円
168,000円
168,000円
波長分析
標準価格
(税別)
1110573
※ダメージテストスライド
(0014-4314)1枚標準添付。
Ø 76.20 mm
16.38 mm
2X 5.08 mm
M6-6H THD
Ø 50.20 mm
校正とサービス
品名
調整可能
225.55 mm
∼143.00 mm
J-50MB-HE & -LE
Ø 50.80 mm
50.8 mm
索
引
76.2 mm
16.54 mm
2X 5.84 mm
Ø 40.64 mm
M6-6H THD
Aperture Plate
15.75 mm
2X 5.08 mm
M4 X 17.78 mm
Aperture Plate
Ø 25.25 mm
Ø 10.5 mm
調整可能
200.15 mm
∼117.60 mm
調整可能
189.99 mm
∼107.44 mm
76.20 mm
50.80 mm
76.20 mm
50.80 mm
品名
品名
J-25MB-HE & -LE
J-10MB-HE & -LE
※性能を維持するために、
レーザパワー/エネルギーメータおよびセンサーは、少なくとも年に'回の校正をお奨めいたします。
mmm$Ye^[h[dj$Ye$`f ・ J;B&)#+,)+#.,.& ・
本価格、本仕様は予告なく変更される場合が
ございます。ご購入時必ずご確認ください。
43
レーザ計測機器 (&&/%(&'&
パワー
エネルギー測定
Energy
Max
CWn8bWYaディフューズエネルギーセンサー
RoHS
低繰返しハイピークエネルギー
パワー
エネルギーメータ
● 損傷閾値:'*@%Yc(6'&,*dc"'&di[Y
● 最大平均パワー:(&Mje,(M
● エネルギー範囲:'$&[email protected])@
パワーセンサー
● 波長範囲:(,,dcje)$&ªc
● 繰返しレート:+&ffi
● 波長補正&温度補正機能付
● '&,*dcと(/*&dcの(波長校正
(@#+&C8#?H)
エネルギー
センサー
特に低繰返しで高いピークエネルギーを持つDZ0O7=レーザ、HkXo%>e0O7=レーザに最適なセンサーです。特に@#+&C8#?Hセンサーは
'&,*dcと(/*&dmの(波長で校正されており、医療用に使用される;hX_kc0O7=レーザに最適です。ディフューザの着脱などの煩雑さ
もありません。
また、@#(+C8#?Hでは、;d[h]oCWnシリーズ最大の平均パワー,(Mを実現します。
カスタム
1
J-50MB-YAG*
仕様
J-25MB-IR
1 mJ to 3J
<50 μJ
ノイズ等価エネルギー
E
;
C
J-50MB-IR
1.5 mJ to 3J
エネルギー範囲
<100 μJ
266 nm to 2.1 μm
波長範囲
532 nm to 2.1 μm
500 nm to 3 μm
ビーム診断
波長分析
センサー径
50 mm
25 mm
50 mm
有効エリア径
35 mm
12.5 mm
30 mm
20W
最大平均パワー
ヒートシンク装着時
最大パルス幅
最大繰返しレート
15W
48W
62W
ー
340 μs
860 μs
1 ms
50 pps
20 pps
30 pps
5.0 J/cm2
@1064 nm, 10 ns
>100 J/cm2
@2940 nm、100 μs
ビーム診断
14.0 J/cm2
@1064 nm, 10 ns
2.8 J/cm2
@532 nm, 10 ns
最大エネルギー密度
0.75 J/cm2
@355 nm, 10 ns
波長分析
1.0 J/cm2
@266 nm, 10 ns
MaxBlack
センサーコーティング
IR
YAG
ディフューザ
1064 nm
校正波長
1064 nm、
2940 nm
2%
校正確度
校正とサービス
エネルギーリニアリティ
3%
2%
3%
3.5%
2.5 m
ケーブル長
J DB-25
コネクタタイプ
1110744
1110577
1155722
228,000円
200,000円
218,000円
品番
標準価格
(税別)
高エネルギー、
その他のパルス幅に対応するカスタムセンサーもございます。
詳細はお問合せください。
*1 高繰返し、
索
引
J-50MB-YAG
27.91 mm
Ø 76.20 mm
2X 5.08 mm
M6-6H THD
21.72 mm
J-25MB-IR
2X 5.84 mm
Ø 50.80 mm
M6-6H THD
Ø 51.00 mm
Ø 25.25 mm
調整可能
255.55 mm
∼143.00 mm
調整可能
200.15 mm
∼117.60 mm
76.20 mm
50.80 mm
76.20 mm
50.80 mm
品名
品名
J-50MB-YAG
J-25MB-IR
J-50MB-IR
※性能を維持するために、
レーザパワー/エネルギーメータおよびセンサーは、少なくとも年に'回の校正をお奨めいたします。
44
本価格、本仕様は予告なく変更される場合が
ございます。ご購入時必ずご確認ください。
・ J;B&)#+,)+#.,.& ・ mmm$Ye^[h[dj$Ye$`f
レーザ計測機器 (&&/%(&'&
パワー
エネルギー測定
Energy
Max
C[jWbディフューズエネルギーセンサー
RoHS
'&a>p高繰返し
● 最大平均パワー:'Mje*/M
● 波長範囲:'/&dcje($'ªc
● 損傷閾値:+&&c@%Yc(6'&,*dc"'&di[Y
● 波長補正&温度補正機能付
エネルギー
センサー
● ディフューザ機能付メタリックコーティングで
戻り光を低減
高繰返しタイプのセンサーでは例のない大型口径を実現。最大平均パワーの増大と合わせて、高繰返しで高エネルギー測定を可能
にしました。
また、
'&cc口径の@#'&CJ#'&A>Pは'&&[email protected]'&[email protected]
J-50MT-10KHZ
J-25MT-10KHZ
J-10MT-10KHZ
500 μJ to 1J
50 μJ to 100 mJ
100 nJ to 200 μJ
<2 μJ
<10 nJ
<16 μJ
ノイズ等価エネルギー
カスタム
仕様
エネルギー範囲
190 nm to 2.1 μm
波長範囲
有効エリア径
最大平均パワー
25 mm
10 mm
20W
10W
1W
49W
31W
ー
E
;
C
ビーム診断
波長分析
ヒートシンク装着時
50 mm
1.7 μs
最大パルス幅
10,000 pps
最大繰返しレート
500 [email protected] nm, 10 ns
最大エネルギー密度
50 mJ/ [email protected] nm,10 ns
Diffuse Metallic
センサーコーティング
ビーム診断
なし
ディフューザ
1064 nm
校正波長
2%
校正確度
3%
エネルギーリニアリティ
2.5 m
ケーブル長
パワーセンサー
● エネルギー範囲:'&&[email protected]'@
パワー
エネルギーメータ
● 繰返しレート:'&"&&&ffi
J DB-25
コネクタタイプ
標準価格
(税別)
1110574
1110747
1110856
238,000円*1
220,000円*1
198,000円
波長分析
品番
※高繰返しエネルギーセンサーは、
FieldMaxⅡ-TOP/Pには使用できません。
*1ダメージテストスライド
(1129175)
1枚標準添付。
校正とサービス
16.38 mm
2X 5.08 mm
Ø 76.20 mm
16.54 mm
Ø 50.80 mm
M6-6H THD
Ø 50.20 mm
2X 5.84 mm
M6-6H THD
Aperture Plate
Ø 25.25 mm
調整可能
225.55 mm
∼143.00 mm
調整可能
200.15 mm
∼117.60 mm
76.20 mm
50.80 mm
50.80 mm
品名
品名
J-50MT-10KHZ
J-25MT-10KHZ
Ø 40.64 mm
15.75 mm
索
引
76.20 mm
2X 5.08 mm
M4 X 17.78 mm
Aperture Plate
Ø 10.5 mm
調整可能
189.99 mm
∼107.44 mm
品名
76.20 mm
50.80 mm
J-10MT-10KHZ
※性能を維持するために、
レーザパワー/エネルギーメータおよびセンサーは、
少なくとも年に'回の校正をお奨めいたします。
mmm$Ye^[h[dj$Ye$`f ・ J;B&)#+,)+#.,.& ・
本価格、本仕様は予告なく変更される場合が
ございます。ご購入時必ずご確認ください。
45
レーザ計測機器 (&&/%(&'&
パワー
パワー
パワーセンサー
エネルギー測定 エネルギーメータ
Energy
Max
CWnKLエネルギーセンサー
RoHS
KL高損傷閾値
● (,,dcか'/)dcで校正
● 最大平均パワー:+Mje*)M
● エネルギー範囲:+&ª@je'@
● 繰返しレート:*&&ffi
● 損傷閾値:+(&c@%Yc(6(*.dc"'&di[Y
● 波長範囲:'/&dcje($'ªc
● 波長補正&温度補正機能付
エネルギー
センサー
KLに耐性の高いCWnKLJCコーティングの採用により、高い損傷閾値、長期間にわたる紫外線の露光に対する耐性と早い繰返し
を実現しました。Ah<および7h<エキシマレーザの(*.dcおよび'/)dcで校正されており、*&&c@%Yc(6'/)dcという高い損傷
閾値を実現します。
カスタム
J-50MUV-248
J-50MUV-193
J-25MUV-248
J-25MUV-193
J-50MUV-248 (ディフューザなし) J-50MUV-193
(ディフューザなし)
(ディフューザなし)
(ディフューザなし)
仕様
エネルギー範囲
E
;
C
ノイズ等価エネルギー
ビーム診断
波長分析
最大平均パワー
波長範囲
500 µJ to 1J
125 µJ to 250 mJ
125 µJ to 250 mJ
50 µJ to 100 mJ
<16 µJ
<4 µJ
<4 µJ
<2 µJ
190 nm to 266 nm 190 nm to 2.1 µm 190 nm to 266 nm 190 nm to 2.1 µm
190 nm to 2.1 µm
50 mm
25 mm
センサー径
ヒートシンク装着時
15W
10W
18W
10W
36W
25W
43W
30W
5W
16W
15W
86 µs
最大パルス幅
43 µs
200 pps
最大繰返しレート
最大エネルギー密度
520 mJ/cm2
260 mJ/cm2
400 pps
400 mJ/cm2
260 mJ/cm2
200 mJ/cm2
200 mJ/cm2
ビーム診断
@248 nm, 10 ns @248 nm, 10 ns @193 nm, 10 ns @193 nm, 10 ns @248 nm, 10 ns @193 nm, 10 ns
MaxUV
センサーコーティング
DUV
ディフューザ
DUV
なし
なし
なし
248 nm
校正波長
193 nm
248 nm
193 nm
3%
校正確度
3%
エネルギーリニアリティ
2.5 m
波長分析
ケーブル長
J DB-25
コネクタタイプ
品番
標準価格
(税別)
1110572
1146243
1110575
1146237
1110745
1110741
268,000円
218,000円*1
248,000円
218,000円*1
220,000円*1
210,000円*1
(0011-4313)
1枚標準添付。
*1ダメージテストスライド
校正とサービス
21.56 mm
2X 5.08 mm
Ø 76.20 mm
16.54 mm
2X 5.84 mm
Ø 50.80 mm
M6-6H THD
M6-6H THD
Aperture Plate
索
引
Ø 25.25 mm
Ø 51.00 mm
調整可能
225.55 mm
∼143.00 mm
調整可能
200.15 mm
∼117.60 mm
76.20 mm
50.80 mm
76.20 mm
50.80 mm
品名
品名
J-50MUV-248& -193
J-25MUV-248& -193
※性能を維持するために、
レーザパワー/エネルギーメータおよびセンサーは、少なくとも年に'回の校正をお奨めいたします。
46
本価格、本仕様は予告なく変更される場合が
ございます。ご購入時必ずご確認ください。
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レーザ計測機器 2009/2010
パワー
パワー
パワーセンサー
エネルギー測定 エネルギーメータ
エネルギーセンサー用アクセサリ
EnergyMax用電源ユニット:J-Power(PWR)
&
J-Powerは、EnergyMaxシリーズのセンサーを、オシロ
スコープと接続して観測を行ったり、AD変換を行ったり
する際に、センサーに電源を供給すると共に、センサー
の専用コネクタを BNC に変換します。なお、J-Power
本体はACアダプタ及びLiイオン充電池で駆動します。
品番
1132205
品名
EnergyMax 用電源ユニット
&
... ... .
.. ... ..
.
25-pin connector
BNC
connector
標準価格(税別)
60,000円
エネルギー
センサー
カスタム
〈使用例〉
&
O
E
M
焦電センサーのテスト用スライド
ビーム診断
波長分析
未知のビームのエネルギーを測定する際に焦電センサーを損傷させないためには、テスト
スライドをビームに挿入して、テストスライドに損傷がないかを検査します。これらのテスト
スライドは、焦電センサーと同じコーティングで表面加工されていますので、コーティングの
損傷が目に見える場合はビームを測定する前に減衰するか、またはビーム径を大きくする
必要があります。
0011-4313
0011-4314
1129175
品名
焦電センサーテストスライド - ブラックコーティング(Jシリーズ用)
焦電センサーテストスライド - MaxUVコーティング
焦電センサーテストスライド - Maxブラックコーティング
焦電センサーテストスライド - ディフューズメタリックコーティング
ビーム診断
品番
0011-4311
&
標準価格(税別)
8,000円
8,000円
8,000円
8,000円
波長分析
校正とサービス
ヒートシンク
品番
1123430
1123431
1123432
25 mm径用ヒートシンク - 小
品名
25 mm径用ヒートシンク - 中
50 mm径用ヒートシンク - 大
索
引
EnergyMaxセンサーの背面に装着することで、最大平均パワー値を増強する着脱式のヒート
シンクです。小及び中は25 mm径用で大は50 mm径用です。ヒートシンク装着時の平均パワー
値は各項をご覧ください。
標準価格(税別)
14,000円
18,000円
20,000円
※性能を維持するために、
レーザパワー/エネルギーメータおよびセンサーは、
少なくとも年に1回の校正をお奨めいたします。
www.coherent.co.jp ・ TEL 03-5635-8680 ・
本価格、本仕様は予告なく変更される場合が
ございます。ご購入時必ずご確認ください。
47
レーザ計測機器 2009/2010
パワー
パワー
パワーセンサー
エネルギー測定 エネルギーメータ
&
&
エネルギー
センサー
カスタム
&
O
E
M
EnergyMaxのアプリケーション
オシロスコープに接続してエネルギー測定をする方法
1 KHz - 10 KHzの繰返しパルスレーザの、パルス毎のエネルギー値を測定するには、前ページのJ-Powerアダプタを介してオシロス
コープで観測します。以下にその方法を示します。
1
パルスエネルギー測定の確度を保証するには、オシロス
コープがきちんと校正されているかを確認しておく必要が
あります。
前回いつ校正されているかにより、
次の校正予定
7
日を確認しておきます。
2
3
ビーム診断
波長分析
4
5
設定します。
この画面でトリガレベルの設定やパルスの真
( 10 Hz )の繰返しなので、オシロスコープの時間軸を20
msec/div(フルスケール200 msec)に設定しています。
ト
アナログ帯域を持ったものをお使いください。
EnergyMaxをオシロスコープに接続する際には、
オシロス
コープの1 MΩの入力インピーダンスを選択ください。
コープの時間軸を2パルス分が画面に表示されるように
のベースラインの観測ができます。例ではレーザは10 pps
オシロスコープは少なくとも2 mVの電圧レンジと20 MHzの
EnergyMaxセンサーとオシロスコープを接続するには、
EnergyMax用の専用電源「J-Power」
か、
DB25ピンをBNCコ
ネクタに変換するアクセサリをご用意ください
(ともにコヒレ
ント社より提供)
。
レーザパルスの繰返しレートがわかっていれば、
オシロス
リガがかかったなら垂直軸の調整を行ってセンサーの電
圧のベースラインを横軸のグリッドラインに一致させます
(下左図を参照)。
これで、
ピーク電圧の読みとりのゼロ設
定を行います。
8
オシロスコープの時間軸をひとつのパルスを拡大するよう
に調整して、
ピーク電圧を正確に読み取るために波形の立
ち上がりの部分を詳しく観察し、
ピークの位置を確定した
うえで、
そのピークの電圧値を読み取ります。
(下右図)
オシロスコープを以下のように設定します:
● アナログ帯域:20 MHz
● DCカップリング
● 内部トリガモードでスロープを立ち上がりに設定するか、
外部トリガモードでレーザの同期信号をお使いください。
&
ビーム診断
6
大体どれくらいの出力がセンサーから出てくるかをセン
サーのRv値(V/J)
から推測します
(Rv値は校正証明書やセ
センサーの校正に影響を与えないために、BNC終端
のセンサーをオシロスコープと一緒に使う際に、同
軸ケーブルを追加しないでください。
ンサーのケーブルに付いている校正ステッカーに記載)
。
波長分析
校正とサービス
索
引
※性能を維持するために、
レーザパワー/エネルギーメータおよびセンサーは、少なくとも年に1回の校正をお奨めいたします。
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本価格、本仕様は予告なく変更される場合が
ございます。ご購入時必ずご確認ください。
・ TEL 03-5635-8680 ・ www.coherent.co.jp