取扱説明書

ラミナーフロー方式
マスフローメーター
取扱説明書
〒105-0013 東京都港区浜松町 2-2-11
廣瀬ビル 3 階
TEL 03-6432-4006
FAX 03-6432-4010
E-mail: [email protected]
http://www.j-startechno.com
Rev.21.14 2014/12/19
2
目次
1. はじめに .............................................................................. 5
2. マスフローメーターの各名称 ............................................................ 6
3. 設置 .................................................................................. 7
3.1. 電源、および信号接続 .............................................................. 7
3.2. 入力信号 .......................................................................... 8
3.2.1. ゼロ調整(Tare)入力 ............................................................ 8
3.2.2. RS-232C/RS-485 デジタル信号入力................................................ 8
3.3. 出力信号 .......................................................................... 9
3.3.1. RS-232C/RS-485 デジタル信出力 ................................................. 9
3.3.2. 標準電圧出力 0-5VDC ........................................................... 9
3.3.3. オプション電圧出力 0-10VDC .................................................... 9
3.3.4. オプション電流出力 4-20mA ..................................................... 9
3.3.5. オプション第 2 アナログ出力 .................................................... 9
4. 表示 ................................................................................. 10
4.1. 表示とメニュー ................................................................... 10
4.2. MAIN(メイン画面) ............................................................... 11
4.2.1. PSIA(絶対圧) ............................................................... 11
4.2.2. ℃(ガス温度) ............................................................... 11
4.2.3. TARE V(ゼロ調整) ........................................................... 11
4.2.4. CCM(または LPM) ............................................................ 11
4.2.5. SCCM(または SLPM)質量流量(Mass Flow Rate) ................................. 11
4.2.6. MENU ......................................................................... 11
4.2.7. エラー表示 ................................................................... 12
4.3. SELECT MENU(メニュー画面) ...................................................... 12
4.3.1. GAS SELECT(ガス選択) ....................................................... 13
4.3.2. RS232C COM(通信設定) ....................................................... 14
4.3.3. MISCELLANEOUS ................................................................ 15
4.3.4. MFC DATA(製造元情報) ....................................................... 16
5. RS-232C/RS-485 通信 .................................................................. 17
5.1. 概要 ............................................................................. 17
5.2. 通信仕様 ......................................................................... 17
5.3. 通信モード ....................................................................... 17
5.3.1. 通信モードの種類 ............................................................. 17
5.3.2. 通信モードの切り替え ......................................................... 17
5.4. 測定値の取得 ..................................................................... 18
5.4.1. 測定値の取得コマンド ......................................................... 18
5.4.2. 測定値のフォーマット ......................................................... 18
5.5. ゼロ調整 ......................................................................... 19
5.5.1. ゼロ調整のコマンド ........................................................... 19
3
5.6. 測定ガスの変更 ................................................................... 19
5.6.1. 測定ガス変更のコマンド ....................................................... 19
5.7. コマンド一覧 ..................................................................... 20
6. 測定ガス粘度、密度、圧縮率表 ......................................................... 21
7. トラブルシューティング ............................................................... 23
7.1. 表示がつかない、または表示が薄い ................................................. 23
7.2. 表示が 0 付近、またはフルスケール付近の値から変化しない ........................... 23
7.3. 質量流量、体積流量、圧力、温度表示が点滅し、MOV, VOV, POV, TOV が表示される。 ..... 23
7.4. ガスが流れていない状態なのに表示がマイナス値になる ............................... 23
7.5. 流量表示がフラつく ............................................................... 23
7.6. アナログ出力と流量表示が合わない ................................................. 23
7.7. RS-232C/RS-485 通信で応答が無い .................................................. 23
7.8. 応答が遅い ....................................................................... 23
7.9. 低流量時に表示が0になる ......................................................... 23
8. 仕様 ................................................................................. 24
9. M シリーズ外形寸法図 ................................................................. 26
9.1. M-0.5SCCM ~ M-50SCCM ............................................................ 26
9.2. M-100SCCM ~ M-20SLPM ............................................................ 26
9.3. M-50SLPM ~ M-100SLPM ............................................................ 27
9.4. M-250SLPM ........................................................................ 27
9.5. M-500SLPM ~ M-1500SLPM .......................................................... 28
9.6. M-2000SLPM ....................................................................... 28
9.7. M-3000SLPM ....................................................................... 29
10. MS シリーズ(刺激性ガス対応マスフローメーター)...................................... 30
11. MS シリーズ外形寸法図 ............................................................... 30
11.1. MS-0.5SCCM ~ MS-50SCCM ......................................................... 30
11.2. MS-100SCCM ~ MS-20SLPM ......................................................... 31
11.3. MS-50SLPM ~ MS-100SLPM ......................................................... 31
11.4. MS-250SLPM ...................................................................... 32
11.5. MS-500SLPM ~ MS-1500SLPM ....................................................... 32
11.6. MS-2000SLPM ..................................................................... 33
11.7. MS-3000SLPM ..................................................................... 33
12. オプション .......................................................................... 34
12.1. 積算流量(オプション:TOT) ..................................................... 34
13. MB シリーズ(充電式バッテリー付ポータブルマスフローメーター) ........................ 35
4
1. はじめに
この度はマスフローメーターをお買い上げいただきまして誠にありがとうございます。
製品をお使いになる前に、本書をご一読されますようお願い申し上げます。
お納めしましたマスフローメーターは ISO9001:2008 の認証を受
けた ALICAT 社のアリゾナ工場で製造され、NIST(アメリカ国立標
準技術研究所)のトレーサブルな検査成績証をつけて出荷されて
います。
ご使用に際しましては次の注意事項に留意され、機器を正しくご
使用ください。また、故意もしくは誤った使用による故障は保証
の対象外となります。修理、再校正等は有償となりますのでご了
承ください。
<注意事項>
1)マスフローメーターは 862kPa(約 8Kg/cm2)を超えるラインでは使用できません。
2)腐食性ガス、もしくは腐食性ガスが混ざったガスには使用できません。
3)オイルミスト、粉塵、埃などの混ざったガスはフィルターを設けて完全に取り除いてください。
4)水蒸気は凝縮器もしくは乾燥器で取り除いてください。
5)機器を分解しないでください。
6)機器は防水タイプではありませんので水濡れに注意してください。
7)配線は正しく行ってください。誤った配線は機器の故障につながります。
8)M-0.5SCCM~M-50SCCM までの機種の接続径は M5×0.8 です。これらの機種には 1/8”NPT に変換す
る継手が付属します。
9)M-0.5SCCM~M-50SCCM までの機種は微少流量を計測するためデリケートなシリコーン薄膜がセン
サーとして使用されています。急激な入口、出口の圧力差(12psi 以上)が生じるとセンサー薄膜
が破れる可能性があります。また、近くに完全密閉型の電磁弁を設けないでください。測定終了後
はバルブをゆっくりと開放してください。
10)製品には NIST 検査成績証兼校正証が付属しています。大切に保管ください。
5
2. マスフローメーターの各名称
6
3. 設置
3.1. 電源、および信号接続
電源は電源ジャックまたはミニ DIN8
ピンコネクタより供給します。
メーターは少なくとも 100mA 供給で
きる 7-30VDC の電源が必要です。
電源ジャックの極性はセンターが+
となります。
【ミニ DIN コネクタ 8 ピン機能(標準)
】
ピン番合
機能
ケーブル色
未使用または
4-20mA
オプション出力
1
黒
5.12V出力または第2オプション出力
2
茶
RS-232C 受信 / RS-485 (-)
3
赤
ゼロ調整
4
橙
RS-232C 送信 / RS-485 (+)
5
黄
0-5VDC 信号出力または 0-10VDC オプション出力
6
緑
電源入力(+)
7
青
GND(電源、信号共通)
8
紫
<注意>
電源ラインを 1-6 番間に接続しないようにしてください。誤って接続した場合、メーターへ
損傷を与え、故障の原因となります。
コネクタオプションで-I、または-IO をご指定の場合はインダス
トリアルコネクタが追加されます。また防爆仕様(-X)をご指定の
場合は、標準装備の電源ジャック、およびミニ DIN コネクタがイ
ンダストリアルコネクタとなります。
【インダストリアルコネクタ 6 ピン機能(オプション)
】
ピン番合
1
2
3
4
5
6
機能
電源入力(+)
RS-232C 送信 / RS-485 (+)
RS-232C 受信 / RS-485 (-)
ゼロ調整
GND(電源、信号共通)
アナログ出力
7
ケーブル色
赤
青
白
緑
黒
茶
3.2. 入力信号
3.2.1. ゼロ調整(Tare)入力
4-8 間を短絡することによりゼロ点補正(Tare)が行え
ます。
3.2.2. RS-232C/RS-485 デジタル信号入力
標準で RS-232C 通信機能を搭載しています。RS-485 通信はオプションとなります。
ミニ DIN コネクタ 8 ピン
ピン番号
3
5
8
機能
RS-232C 受信 / RS-485(-)
RS-232C 送信 / RS-485(+)
GND
D サブコネクタ 9 ピン
ピン番号
2
3
5
8
機能
RS-232C 受信 / RS-485(-)
RS-232C 送信 / RS-485(+)
GND
3.3. 出力信号
3.3.1. RS-232C/RS-485 デジタル信出力
標準で RS-232C 通信機能を搭載しています。マスフローメーターで測定した測定値(質量流量、体積流
量、温度、圧力、積算流量)を送信します。RS-485 通信はオプションとなります。
3.3.2. 標準電圧出力 0-5VDC
M シリーズのマスフローメーターは 0-5VDC 出力を標準で搭載しています。出力は流量が 0 時に 0.01VDC、
フルスケール時に 5.0VDC を出力します。全範囲にわたってリニアに出力します。
3.3.3. オプション電圧出力 0-10VDC
0-10VDC 出力はオプションとなります。出力は流量が 0 時に 0.01VDC、フルスケール時に 10.0VDC を出
力します。全範囲にわたってリニアに出力します。
3.3.4. オプション電流出力 4-20mA
4-20mA 出力はオプションとなります。出力は流量が 0 時に 4mA、フルスケール時に 20mA を出力します。
全範囲にわたってリニアに出力します。
※電流出力を使用する場合、電源電圧は 15VDC 以上が必要です。
3.3.5. オプション第 2 アナログ出力
オプションでアナログ出力を 2 出力にすることができます。第 1 出力は 6-8 番ピン、第 2 出力は 2-8 番
ピンから出力します。出力は 0-5VDC、0-10VDC、4-20mA に対応できます。
標準のアナログ出力は質量流量に対して出力されます。体積流量、温度、圧力に対しての出力も可能で
す。
(メーターからの変更はできませんので注文時にご指定ください。
)
9
4. 表示
4.1. 表示とメニュー
【メイン画面】
圧力、温度、体積流量、質量流量を表示
します。各ボタン PSIA(絶対圧)、℃(ガ
ス温度)、
CCM(体積流量)、
SCCM(質量流量)
を押すとそのデータが中央に大きく表示
されます。TARE V は押した時点の流量値
を 0 にします。
MENU はメニュー画面に移ります。
【積算流量表示画面】
積算機能オプション付きの場合、MENU ボ
タンを押すと積算流量表示画面に移りま
す。
再度 MENU ボタンを押すとメニュー画面
に移ります。
【メニュー画面】
各項目のボタンを押すことによりガスの
選択、RS-232C/RS-485 通信の設定、製造
元/製品情報の表示などの画面に移りま
す。
MAIN ボタンを押すとメイン画面(流量表
示画面)に戻ります。
10
4.2. MAIN(メイン画面)
電源 ON 時の初期画面となります。メイン(中央)には質量流量、単位、ガス種類が表示されます。
4.2.1. PSIA(絶対圧)
現在の絶対圧を表示します。単位は PSIA です。PSIA ボタン
を押すと絶対圧をメインに表示します。
絶対圧から現地大気圧を減算することでゲージ圧に変換する
ことができます。
ゲージ圧(PSIG) = 絶対圧(PSIA) - 大気圧
4.2.2. ℃(ガス温度)
現在流れているガスの温度を表示します。温度は摂氏(℃)で
表示されます。℃ボタンを押すと温度をメインに表示します。
4.2.3. TARE V(ゼロ調整)
流量 0 の基準(ゼロ点)を調整します。TARE V ボタンを押すと現在の状態を流量 0 として調整します。
調整は流量が無い状態で行ってください。この調整は正確な流量を測定するために重要な調整となりま
す。再起動後に表示が変動する場合は 1 分程度のウォームアップを取ってから再度調整を行ってくださ
い。
流量がある状態でゼロ調整を行うと測定精度に直接影響を与え、測定誤差の原因となります。
調整後、流量が無い状態かどうかわからない場合はラインからメーターを取り外し、入口出口を確実に
塞いでください。その時に表示がマイナスを示した場合は誤ったゼロ調整がされています。
調整は大気圧下で流量が無い状態で行ってください。
4.2.4. CCM(または LPM)
現在の体積流量(Volumetric Flow Rate)を表示します。CCM(または LPM)ボタンを押すことで体積流
量をメインに表示できます。
4.2.5. SCCM(または SLPM)質量流量(Mass Flow Rate)
画面中央下の位置、および初期画面時はメイン(画面中央)に質量流量(Mass Flow Rate)を表示しま
す。質量流量は体積流量を標準温度(20℃)と標準圧力(14.696psia)で補正した値です。
他の測定値がメインに表示されている時に SCCM(または SLPM)ボタンを押すことメインに表示できま
す。
<注意>
正確な体積流量、および質量流量の測定値を得るため、測定前に必ずガス選択画面で正しいガス(流体)
を選択してください。
4.2.6. MENU
MENU ボタンを押すとメニュー画面へ移ります。
11
4.2.7. エラー表示
測定中、各データの測定値が測定範囲を超えた場合にエラーメッセージが点滅表示します。
エラーメッセージ
MOV
VOV
POV
TOV
意味
質量流量が測定範囲をオーバー
体積流量が測定範囲をオーバー
圧力が規定値をオーバー
温度が規定値をオーバー
エラーメッセージ点滅中はエラーとなる対象のデータ、および質量流量は正確ではありません。
再度、測定値が範囲内に収まると正常に戻ります。
※測定値が測定範囲に戻っても正常に戻らない場合は弊社までご連絡ください。
4.3. SELECT MENU(メニュー画面)
メニュー画面よりガス選択、RS-232C/RS-485 設定、製造元情報閲覧画面を呼び出すことができます。
呼び出しは各項目のボタンを押します。
12
4.3.1. GAS SELECT(ガス選択)
メニュー画面より GAS SELECT ボタンを押すことで呼び出します。
LN-UP / LN-DN:
ガス名の先頭に表示されている矢印(>)を移動します。
希望のガスに合わせて選択してください。
MODE:
LN-UP、LN-DN ボタンが PG-UP、PG-DN ボタンに変わります。
再度押すと LN-UP、LN-DN ボタンに戻ります。
PG-UP / PG-DN:
リストをページ毎に切り替えます。
(LN-UP、LN-DN ボタンでもページは切り替わります。)
CANCEL:
選択したガスを記憶せずにメニュー画面に戻ります。
SET:
選択したガスを記憶してメニュー画面に戻ります。
測定画面では選択したガス名が表示されます。
<注意>
ガス選択はカスタムガス、またはブレンドガスを注文した
製品では利用できない場合があります。
標準ガス一覧
Air
Ar
CH4
CO
CO2
C2H6
H2
He
N2
N2O
Ne
O2
C3H8
n-C4H10
C2H2
C2H4
i-C2H10
Kr
Xe
SF6
C-25
C-10
C-8
C-2
C-75
A-75
A-25
A1025
Star29
P-5
空気
アルゴン
メタン
一酸化炭素
二酸化炭素
エタン
水素
ヘリウム
窒素
亜酸化窒素
ネオン
酸素
プロパン
ブタン
アセチレン
エチレン
イソブタン
クリプトン
キセノン
六フッ化硫黄
アルゴン 75% +
アルゴン 90% +
アルゴン 92% +
アルゴン 98% +
二酸化炭素 75%
アルゴン 75% +
ヘリウム 75% +
ヘリウム 90% +
アルゴン 90% +
アルゴン 95% +
二酸化炭素 25%
二酸化炭素 10%
二酸化炭素 8%
二酸化炭素 2%
+ アルゴン 25%
ヘリウム 25%
アルゴン 25%
アルゴン 7.5% + 二酸化炭素 2.5% (PraXair - Helistar® A1025)
二酸化炭素 8% + 酸素 2% (PraXair - Stargon® CS)
メタン 5%
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4.3.2. RS232C COM(通信設定)
メニュー画面より RS232 COMM(または RS485 COMM)ボタンを
押すことで呼び出します。
Unit ID(ID 設定)
:
ボタンを押すことでメーターの ID 設定を呼び出します。
下段には現在設定されている ID を表示します。
Baud(ボーレート設定)
:
ボタンを押すことでボーレート(伝送速度)設定を呼び出
します。下段には現在設定されているボーレートを表示し
ます。
BACK:
前画面に戻ります。
MAIN:
メイン画面に戻ります。
【ID 設定画面】
Unit ID:
現在設定されている ID を表示します。
UP / DN:
ID を選択します。ボタンを押す毎に ID が変わります。ID
は A から Z [email protected]
<注意>
複数のメーターを接続する場合は、各メーターの ID が重
ならないように ID を割り当ててください。
BACK:
前画面に戻ります。
(ID の記憶は行いません)
RESET A:
ID を "A" にします。
SET:
選択した ID を記憶してメイン画面に戻ります。ID はメイ
ン画面に戻った時に有効となります。ID を "@" と設定し
た場合、メーターはストリーミングモードとなります。
【ボーレート設定画面】
DN / UP:
ボーレート(伝送速度)を選択します。ボタンを押す毎に
ボーレートが変わります。ホスト側と同じボーレートを選
択してください。選択できるボーレートは
38400,19200,9600,2400baud です。初期値は 19200baud で
す。
BACK:
前画面に戻ります。
(ボーレートの記憶は行いません)
SET:
選択したボーレートを記憶してメイン画面に戻ります。
<注意>
ボーレートは一旦電源を切って再起動するまで有効とな
りません。
14
4.3.3. MISCELLANEOUS
メニュー画面より MISC ボタンを押すことで呼び出します。
【MISCELLANEOUS 画面】
ZERO BAND:
0 領域のデッドバンド(不感帯領域)を設定します。ここで設定
した値以下の流量は表示 0 となります。またこの範囲について
はアナログ出力、およびデジタル信号には影響しません。
UP / DOWN:
設定値を変更します。設定範囲はフルスケールの
0.0-3.2%です。
SELET:
設定桁を変更します。1 度押す毎に右桁に移ります
CANCEL:
変更した値を記憶せずにメニュー画面に戻ります。
CLEAR:
調整値を 0 にします。
。
SET:
変更した値を記憶してメニュー画面に戻ります。
【ZERO BAND 画面】
PRESS AVG(圧力平均) / FLOW AVG(流量平均)
:
圧力や流量の急激な変動によるバラつきを移動平均するこ
とにより表示を滑らかにします。
UP / DOWN:
移動平均値を変更します。設定範囲は 1-256 です。
数値が高いほど滑らかになります。1 は平均無しです。
SELET:
設定桁を変更します。1 度押す毎に右桁に移ります。
CANCEL:
変更した値を記憶せずにメニュー画面に戻ります。
CLEAR:
移動平均値を 0 にします。
SET:
変更した値を記憶してメニュー画面に戻ります。
【LCD CONTRASNT 画面】
LCD CONTRASNT:
表示のコントラストを設定します。
UP / DOWN:
調整値を変更します。調整範囲は 0-30 です。
0 が最も明るく、30 は最も暗くなります
CANCEL:
変更した値を記憶せずにメニュー画面に戻ります。
RESET:
調整値を初期値に戻します。初期値は 10 です。
SET:
変更した値を記憶してメニュー画面に戻ります。
15
4.3.4. MFC DATA(製造元情報)
メニュー画面より MFG DATA ボタンを押すことで呼び出します。
【製造元情報】
製造会社情報を表示します。
MODEL INFO:
製品情報画面を呼び出します。
BACK:
前画面に戻ります。
MAIN:
メイン画面に戻ります。
【製品情報】
製品情報を表示します。
MODEL
:機種名
SERIAL NO:シリアル番号
DATE MFG :製造日
DATE CAL :校正日
CAL BY :校正者(イニシャル)
SW REV :ソフトウェアバージョン
BACK:
前画面に戻ります。
MAIN:
メイン画面に戻ります。
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5. RS-232C/RS-485 通信
5.1. 概要
メーターで測定した測定値の取得、およびガス選択、ゼロ調整などが行えます。
5.2. 通信仕様
通信速度
データビット
ストップビット
パリティビット
フロー制御
2400, 9600, 19200, 38400 から選択可
8 ビット
1 ビット
無し
無し
5.3. 通信モード
5.3.1. 通信モードの種類
通信にはストリーミングモードとポーリングモードがあります。
・ストリーミングモード:
測定値を一定周期で連続送信します。このモードは RS-232C 通信時のみ有効です。
(*1) 送信データ数により 1 秒間に約 10~60 回データを送信します。
(*2) RS-485 通信オプションにはこのモードはありません。
・ポーリングモード:
ホストよりコマンドを受信するとそのコマンドに対応する処理をします。
5.3.2. 通信モードの切り替え
ストリーミングモードへ切り替え:
[コマンド] *@=@<CR>
※<CR>は ASCII コードの 0Dh です。
メーターのユニット ID が"@"となり、ストリーミングモードになります。
ポーリングモードへ切り替え:
[コマンド] *@=<ユニット ID><CR>
メーターのユニット ID が指定された ID となり、ポーリングモードになります。
<ユニット ID>は A~Z で指定します。
例.*@=A<CR>
メーターのユニット ID が "A" となり、ポーリングモードになります。
<注意>1対1の通信で実行してください。
17
5.4. 測定値の取得
5.4.1. 測定値の取得コマンド
ストリーミングモード:
一定周期で測定値を送信します。
ポーリングモード:
[コマンド] <ユニット ID><CR>
ホストより接続しているメーターのユニット ID をコマンドとして送信します。メーターは自身の
ユニット ID を受信すると現在の測定値をホストへ送信します。
例.A<CR>
ユニット ID "A" のメーターより測定値を取得します。
5.4.2. 測定値のフォーマット
メーターからは以下のフォーマットで測定値を送信します。
ストリーミングモード:
+014.70 +025.00 +02.0004 +02.0004 Air
+014.70 +025.00 +02.0004 +02.0004 Air
:
先頭より[圧力] [温度] [体積流量(Volume Flow)] [質量流量(Mass Flow)] [選択ガス]となります。
オプションで積算機能を搭載している場合は 5 列目が積算流量、6 列目が選択ガスとなります。
[圧力] [温度] [体積流量(Volume Flow)] [質量流量(Mass Flow)] [積算流量] [選択ガス]
ポーリングモード:
A +014.70 +025.00 +02.0004 +02.0004 Air
A +014.70 +025.00 +02.0004 +02.0004 Air
:
先頭より[ユニット ID] [圧力] [温度] [体積流量(Volume Flow)] [質量流量(Mass Flow)] [選択ガス]
となります。
オプションで積算機能を搭載している場合は 6 列目が積算流量、7 列目が選択ガスとなります。
[ユニット ID] [圧力] [温度] [体積流量(Volume Flow)] [質量流量(Mass Flow)] [積算流量] [選択ガス]
ストリーミングモード、ポーリングモードともにオーバーフロー等のエラーが発生している場合は
最後列にエラーメッセージ(MOV,VOV,TOV,POV)が付加されます。
18
5.5. ゼロ調整
流量値の 0 点を調整します。メーターがコマンドを受信した時点の流量を 0 とします。
5.5.1. ゼロ調整のコマンド
ストリーミングモード:
[コマンド] $$V<CR>
ポーリングモード:
[コマンド] <ユニット ID>$$V<CR>
例.B$$V<CR>
ユニット ID "B" のメーターのゼロ調整を行います。
5.6. 測定ガスの変更
測定ガスの種類を変更します。
5.6.1. 測定ガス変更のコマンド
ストリーミングモード:
[コマンド] $$<ガス番号><CR>
ポーリングモード:
[コマンド] <ユニット ID>$$<ガス番号><CR>
例 1.A$$11<CR>
例 2.C$$0<CR>
ユニット ID "A" のメーターの測定ガスを O2 に変更。
ユニット ID "C" のメーターの測定ガスを Air に変更。
【ガス番号一覧表】
ガス番号
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
ガス名
空気
アルゴン
メタン
一酸化炭素
二酸化炭素
エタン
水素
ヘリウム
窒素
亜酸化窒素
ネオン
酸素
プロパン
ブタン
アセチレン
記号
Air
Ar
CH4
CO
CO2
C2H6
H2
He
N2
N2O
Ne
O2
C3H8
n-C4H10
C2H2
ガス番号
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
19
ガス名
エチレン
イソブタン
クリプトン
キセノン
六フッ化硫黄
アルゴン 75% + 二酸化炭素 25%
アルゴン 90% + 二酸化炭素 10%
アルゴン 92% + 二酸化炭素 8%
アルゴン 98% + 二酸化炭素 2%
二酸化炭素 75% + アルゴン 25%
アルゴン 75% + ヘリウム 25%
ヘリウム 75% + アルゴン 25%
He 90% + Ar 7.5% + CO2 2.5%
Ar 90% + CO2 8% + O2 2%
アルゴン 95% + メタン 5%
記号
C2H4
i-C2H10
Kr
Xe
SF6
C-25
C-10
C-8
C-2
C-75
A-75
A-25
A1-25
Star29
P-5
5.7. コマンド一覧
通信モード
【ストリーミングモード】
送信コマンド
受信データ
送信コマンド
受信データ
送信コマンド
受信データ
->
<->
<->
<-
*@=@<CR>
<測定値><CR>
*@=<ユニット ID><CR>
<ユニット ID><測定値><CR>
<CR>
無し
送信コマンド
受信データ
【ゼロ調整】
送信コマンド
受信データ
【積算流量値リセット】
送信コマンド
(P.34 参照) 受 信 デ ー タ
->
<->
<->
<-
$$<ガス番号><CR>
<測定値><CR>
$$V<CR>
<測定値><CR>
$$T<CR>
<測定値><CR>
->
<->
<->
<->
<-
<ユニット ID><CR>
<ユニット ID><測定値><CR>
<ユニット ID>$$<ガス番号><CR>
<ユニット ID><測定値><CR>
<ユニット ID>$$V<CR>
<ユニット ID><測定値><CR>
<ユニット ID>$$T<CR>
<ユニット ID><測定値><CR>
【ポーリングモード】
【バッファクリア】
ストリーミングモード時
【ガス選択】
ポーリングモード時
【測定値取得】
送信コマンド
受信データ
【ガス選択】
送信コマンド
受信データ
【ゼロ調整】
送信コマンド
受信データ
【積算流量値リセット】
送信コマンド
(P.34 参照) 受 信 デ ー タ
※誤ったコマンドを送信した場合:
メーターは誤ったコマンドを受信した場合、そのコマンドは無視します。エラーの返信も行いません。
またタイムアウトも行いません。
もし誤ったコマンドを送信した場合は<CR>を 2,3 度送信してください。
メーターの受信バッファがクリアされます。
<注意>
RS-232C 通信において、ケーブルが長く(15m 以上)、通信速度が速い場合(9600bps 以上)、通信が不安定
になることがあります。その場合はケーブルを短くするか、または通信速度を下げて通信を行ってくだ
さい。
20
6. 測定ガス粘度、密度、圧縮率表
粘度
21
密度
圧縮率
粘度
22
密度
圧縮率
7. トラブルシューティング
7.1. 表示がつかない、または表示が薄い
・LCD のコントラストの設定を確認してください。
(P.15「4.3.3 MISCELLANEOUS」の LCD CONTRASNT を参照)
・電源と GND の接続を確認してください。また P.24「8.仕様」を確認し、適切な電源を接続し
てください。
7.2. 表示が 0 付近、またはフルスケール付近の値から変化しない
・差圧センサーが故障している可能性があります。差圧センサーに 10PSID(68.94kPa)を超える
急激な圧力変動を与えると差圧センサーが壊れる恐れがあります。
※差圧センサーの故障が疑われる場合は測定を中止し、弊社までご連絡ください。
7.3. 質量流量、体積流量、圧力、温度表示が点滅し、MOV, VOV, POV, TOV が表示される。
・測定できる仕様範囲を超えています。仕様範囲超えている項目を範囲内に収まるよう調整し
てください。仕様範囲を超えている間は正確な測定は行えません。
(P.12「4.2.7 エラー表示」を参照)
7.4. ガスが流れていない状態なのに表示がマイナス値になる
・ゼロ調整が正しく行われていない可能性があります。再度流量が無い状態でゼロ調整を行っ
てください。
(P.11「4.2.3 TARE V(ゼロ調整)
」を参照)
・流量の逆流時にマイナス表示をします。メーターは逆流方向の測定はできませんので直ちに
逆流を止めてください。また逆流によるメーターへの影響はありません。
7.5. 流量表示がフラつく
・上流の接続部に異物などが無いかを確認してください。測定の応答速度が速く、変動の多い
実流量も読み取り測定しますので異物などの混入がある場合は安定した測定は行えません。
・メーターには平均化の機能が搭載されています。この機能は急激な変動のある流量を測定す
る場合に有効です。
(P.15「4.3.3 MISCELLANEOUS」の FLOW AVG(流量平均)を参照)
7.6. アナログ出力と流量表示が合わない
・ケーブル長を確認してください。ケーブル(メーターとの距離)が長いと電圧降下が起こりま
すのでアナログ出力値と流量表示値が相違する現象が発生する可能性があります。また、内
径の太いケーブルを特に GND ラインに使うことによりこの影響を軽減できます。
・GND ラインが完全でない可能性がありますので配線を確認してください。
7.7. RS-232C/RS-485 通信で応答が無い
・通信設定がホストとメーターとで一致しているかを確認してください。
(P.14「4.3.2 RS232C COM(通信設定)
」および P.17「5.2 通信仕様」を参照)
・通信ケーブルが断線していないかを確認してください。
7.8. 応答が遅い
・圧力、および流量の平均化機能の設定を確認してください。
(P.15「4.3.3 MISCELLANEOUS」の PRESS AVG(圧力平均) / FLOW AVG(流量平均)を参照)
7.9. 低流量時に表示が0になる
・ゼロデッドバンドの設定を確認してください。この設定は工場出荷時に 0.5%(F.S.)と設定さ
れています。この設定は 0.0~3.2%の範囲で調整できます。
(P.15「4.3.3 MISCELLANEOUS」の ZERO BAND を参照)
23
8. 仕様
機種
Mシリーズ
(標準)
MSシリーズ
(腐食性/刺激性ガス対応)
精度
±(0.8% Reading +0.2% Full Scale)
高精度(オプション:HC ) (*1)
±(0.4% Reading +0.2% Full Scale)
繰り返し精度
±0.2% FS
動作範囲
0.5~100% FS
1~100% FS
流量レンジ比
200 : 1
100 : 1
応答速度
10ms
標準校正(STP)(*2)
20℃ 1Atm (101.325kPa)
動作温度
流体温度: -10~ 50℃ / 周囲温度: -10~ 50℃
高温度(オプション:REMOTE )
流体温度: -30~100℃ / 周囲温度: -10~ 85℃
動作湿度
0~100% (結露無きこと)
ゼロシフト
0.02% FS/℃/Atm
スパンシフト
0.02% FS/℃/Atm
測定可能流量
128% FS
最大動作圧力
0.7MPa
デジタル出力
RS-232C
出力データ:質量流量、体積流量、圧力、温度
デジタル出力
(オプション:485 )
RS-485
出力データ:質量流量、体積流量、圧力、温度
アナログ出力
0~5VDC
出力データ:質量流量
アナログ出力
(オプション)
0~5VDC / 0~10VDC / 1~5VDC / 4~20mADC
出力データ:質量流量、体積流量、圧力、温度のいずれか
アナログ第 2 出力
(オプション)
0~5VDC / 0~10VDC / 1~5VDC / 4~20mADC
出力データ:質量流量、体積流量、圧力、温度のいずれか
外部接続
ミニ DIN コネクター(8 ピン)、または D サブコネクター(9 または 15 ピン)
供給電圧
7~30VDC (*3)
供給電流
40mA
ウォームアップ時間
1 秒以下
接ガス面材質
表示器
303,302 ステンレススチール
Viton
シリコーン RTV
ガラス強化ナイロン
アルミニウム
316L ステンレススチール
FFKM(Kalrez)standard
Viton
EPDM
モノクロ液晶(D )、カラー液晶(TFT )、リモート表示(RD /TFTRD )
(*1) 高精度オプションは 5SCCM 以上 500SLPM 以下の機種に対応できます。
(*2) 0℃ 1Atm(101.325kPa)での校正も可能です。
(*3) アナログ電流 4~20mADC 出力には 15VDC 以上の電源電圧が必要です。
24
流量レンジ
0.5SCCM
1SCCM
2SCCM
5SCCM
10SCCM
20SCCM
50SCCM
範囲
()内は MS シリーズ
0.0025 - 0.5
(0.005 - 0.5
0.005 - 1
(0.01 - 1
0.01 - 2
(0.02 - 2
0.025 - 5
(0.05 - 5
0.05 - 10
(0.1 - 10
0.1 - 20
(0.2 - 20
0.25 - 50
(0.5 - 50
mL/min
mL/min
mL/min
mL/min
mL/min
mL/min
mL/min
mL/min
mL/min
mL/min
mL/min
mL/min
mL/min
mL/min
外形寸法 [mm]
()内は MS シリーズ
微少流量
H98.89×W60.33×D26.67
(H111.68×W60.33×D26.67)
接続口径
圧力損失
(F.S.流量時)
M-5(10-32)メネジ
6.89 kPa
1/8 インチ NPT メネジ
6.89 kPa
1/4 インチ NPT メネジ
13.79 kPa
1/4 インチ NPT メネジ
17.24 kPa
1/2 インチ NPT メネジ
14.48 kPa
3/4 インチ NPT メネジ
37.92 kPa
3/4 インチ NPT メネジ
41.37 kPa
3/4 インチ NPT メネジ
62.05 kPa
3/4 インチ NPT メネジ
34.47 kPa
1-1/4 インチ NPT メネジ
48.95 kPa
少流量
100SCCM
200SCCM
500SCCM
1SLPM
2SLPM
5SLPM
10SLPM
20SLPM
0.5 (1 1 (2 2.5 (5 0.005
(0.01
0.01
(0.02
0.025
(0.05
0.05
(0.1
0.1
(0.2
100 mL/min
100 mL/min
200 mL/min
200 mL/min
500 mL/min
500 mL/min
- 1 L/min
- 1 L/min
- 2 L/min
- 2 L/min
- 5 L/min
- 5 L/min
- 10 L/min
- 10 L/min
- 20 L/min
- 20 L/min
H103.3×W60.33×D26.67
(H116.0×W60.33×D26.67)
中流量
50SLPM
100SLPM
250SLPM
500SLPM
1000SLPM
1500SLPM
2000SLPM
3000SLPM
0.25
(0.5
0.5
(1
1
(2
2.5
(5
5
(10
7.5
(15
10
(20
15
(30
-
-
50
50
100
100
200
200
L/min
L/min
L/min
L/min
L/min
L/min
500
500
1000
1000
1500
1500
2000
2000
3000
3000
L/min
L/min
L/min
L/min
L/min
L/min
L/min
L/min
L/min
L/min
H110.92×W101.6×D40.64
(H128.70×W101.6×D40.64)
H126.16×W101.6×D40.64
(H143.94×W101.6×D40.64)
大流量
H126.16×W101.6×D40.64
(H143.94×W101.6×D40.64)
H134.29×W132.08×D73.66
(H152.07×W132.08×D73.66)
25
9. M シリーズ外形寸法図
9.1. M-0.5SCCM ~ M-50SCCM
9.2. M-100SCCM ~ M-20SLPM
26
9.3. M-50SLPM ~ M-100SLPM
9.4. M-250SLPM
27
9.5. M-500SLPM ~ M-1500SLPM
9.6. M-2000SLPM
28
9.7. M-3000SLPM
29
10. MS シリーズ(刺激性ガス対応マスフローメーター)
MS シリーズは刺激性ガスに対応したマスフローメーターです。仕様は M シリーズとほぼ同等です。
測定可能なガスは標準の 30 種類のガスに加え、以下のガスが測定可能です。
NO
一酸化窒素 100%
NF3
三フッ化窒素 100%
NH3
アンモニア 100%
CI2
塩素 100%
H2S
硫化水素 100%
SO2
二酸化硫黄 100%
C3H6
プロピレン 100%
以下は要求をいただければ対応可能です。
NO2
不活化ガス 二酸化窒素 0.5%
冷媒ガス 100%
上記以外のガス、または混合ガスの対応等につきましては弊社までご連絡ください。
M シリーズとの相違仕様
動作範囲
1~100% F.S.
流量レンジ比
100 : 1
接液面材質
316L ステンレススチール, FFKM(Kalrez) standard, Viton, EPDM,
Buna, Neoprene
11. MS シリーズ外形寸法図
11.1. MS-0.5SCCM ~ MS-50SCCM
30
11.2. MS-100SCCM ~ MS-20SLPM
11.3. MS-50SLPM ~ MS-100SLPM
31
11.4. MS-250SLPM
11.5. MS-500SLPM ~ MS-1500SLPM
32
11.6. MS-2000SLPM
11.7. MS-3000SLPM
33
12. オプション
12.1. 積算流量(オプション:TOT)
積算流量オプションが追加されているメーターには積算流量表示用の画面が追加されています。この積
算機能は測定した流量すべてを積算し表示します。
表示はメイン表示にある TOTAL ボタンを押すことで切り
替わります。
MASS TOTAL:
積算流量を表示します。表示は最大 6 桁です。流量レンジ
により最大値は変わります。
最小レンジ
0.001
0.01
0.1
1
最大値
999.999
9999.99
99999.9
999999
積算流量のレンジは注文時に指定可能です。
【積算流量繰り越し表示】
積算流量が最大値に達したときの表示動作です。この表示動作は注文時に指定可能です。
繰り越し無し:
積算値が最大に達すると積算値がクリアされるまで積算を停止します。
自動繰り越し:
積算値が最大に達すると自動で 0 に繰り越し、積算を続けます。
自動繰り越しオーバー表示:
積算値が最大に達すると自動で 0 に繰り越し、積算を続けます。また繰り越し後、積算オーバー
フローのエラー表示をします。
ELAPSED TIME:
リセットされてからの経過時間を表示します。表示は積算流量値の下に位置します。
時間は時(4 桁):分(2 桁):秒(2 桁)で表され、最大 6553.5 時間まで計測します。時間のリセットは
リセットボタン、通信でのリセット要求、電源 OFF により行えます。
ELAPSED TIME ボタンを押すことにより経過時間をメインに表示できます。
RESET:
積算流量を"0"にリセットします。また、通信でリセット要求コマンドを送ることでも"0"にリセット
することができます。
・ストリーミングモード:[コマンド] $$T<CR>
・ポ ー リ ン グ モ ー ド:[コマンド] <ユニット ID>$$T<CR>
例.A$$T<CR>
ユニット ID が"A"のメーターの積算流量をリセットします。
<注意>積算流量、および経過時間は電源を OFF すると 0 にリセットされます。バックアップはされ
ませんのでご注意ください。
34
13. MB シリーズ(充電式バッテリー付ポータブルマスフローメーター)
MB シリーズは製品上部にリチウムイオンバッテリーを搭載したポータブルマスフローメーターです。
フル充電時の稼働時間はモノクロ液晶で約 18 時間、TFT カラー液晶で約 5 時間です(コントラスト設定
10 において)
。コントラストの設定を抑えることでバッテリーの持続時間は延びます。
※バッテリーの取り外しは行えません。
バッテリー充電
製品上部にあるマイクロ USB 端子、またはミニ DIN 端子より充電を行うことができます。外部から電源
を供給することで充電が開始されます。充電中はバッテリーランプが緑色に点灯します。
(電源スイッ
チ ON 時は赤色に点灯します)
。
<注釈>バッテリー残量が無い場合は使用前に1分間の充電を行ってください。充電速度はマイクロ USB
ポートを通して電源を供給するのが最も速く、また製品の電源は OFF 状態の方が速くなります。
充電時間:2A の供給で約 3.5 時間です。マイクロ USB 端子は充電のみサポートしています。
バッテリーランプ
製品上部にバッテリーランプがあります。通常電源スイッチを ON すると赤色に点灯します。
バッテリーが低下すると点滅表示を行います。バッテリーが無くなると製品が機能しなくなりますので
早めに充電を行ってください。ランプが点滅を始めると残り約 1 時間ほどとなります。また残り 15 分
くらいになりますとさらに速い点滅表示を行います。
※出力信号は上部のミニ DIN コネクタより出力されます。MB シリーズはアナログ出力 0~10VDC
は未サポートです。。
※製品を使用しない場合は電源を OFF としてください。
<警告>バッテリーの残量が無くなりバッテリーランプが消灯した場合、バッテリーランプも機能しなく
なります。バッテリーランプは 1 度フル充電することで正常機能するようになります。
<注意>
・周囲温度が-10~50 度の範囲外で製品を使用および保存をしないでください。範囲外の温度を検知す
るとコントラストが 0 となり、また動作性能は保証できません。
・安全に充電を行うために周囲環境温度が 0~45℃の範囲で行ってください。また、仕様範囲外の温度
を検知すると充電を行いません。
35